[發明專利]一種判斷管式PECVD爐管內漏和外漏的方法

在審

• 申請號: 202011081416.2
• 申請日: 2020-10-12
• 公開（公告）號: CN112323047A
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 張云鵬;王玉;趙科巍;郭鵬;楊飛飛;秦鵬
• 申請（專利權）人: 山西潞安太陽能科技有限責任公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;C23C16/52
• 代理公司: 太原市科瑞達專利代理有限公司 14101
• 代理人: 李富元

本發明涉及太陽能電池生產領域。一種判斷管式PECVD爐管內漏和外漏的方法，本發明通過關閉部分閥門對PECVD爐管1進行保壓測試，判斷PECVD爐管是否存在泄漏，以及在存在泄漏時，存在內部泄漏還是外部泄漏，以及具體在哪個位置存在泄漏。本發明可以簡單準確的判斷管式PECVD爐管真空失敗的內漏方法，縮短了異常處理的時間，確保了車間的正常生產，提高了備品備件的使用壽命，節約了車間的備件成本。

技術領域

本發明涉及太陽能電池生產領域。

背景技術

光伏太陽能管式PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）工藝是在真空，低壓的環境下（1800mTorr左右）進行的。如果滿足不了此條件，工藝將無法運行。因此，爐管的密封性非常的重要。在生產過程中，經常會出現爐管密封不好，真空失敗的報警，導致設備無法正常運行。引起真空失敗的原因有很多種，包括有內漏和外漏。內漏是整個真空系統內部有漏點，外漏是外界與真空系統之間有漏點。判斷和解決爐管真空失敗的內漏點和外漏點，一般耗時較長，會影響車間的正常生產。如排查不當，會影響備品備件的使用壽命，增加車間的備件成本。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是：如何判斷PECVD爐管是否存在泄漏，以及在存在泄漏時，存在內部泄漏還是外部泄漏，以及具體在哪個位置存在泄漏。

本發明所采用的技術方案是：一種判斷管式PECVD爐管內漏和外漏的方法， PECVD爐管1通過主閥2連接真空泵3，笑氣順序通過第一氣動閥8、第一質量流量計9、第一截止閥18連接PECVD爐管1，氨氣順序通過第二氣動閥7、第二質量流量計10、第二截止閥17連接PECVD爐管1，硅烷順序通過第三氣動閥6、第三質量流量計11、第三截止閥16連接PECVD爐管1，氮氣順序通過第四氣動閥4、第四質量流量計13、第四截止閥14連接PECVD爐管1，氮氣順序通過第四氣動閥4、第五截止閥5、第三質量流量計11、第三截止閥16連接PECVD爐管1，氮氣順序通過第四氣動閥4、第六截止閥12連接PECVD爐管1，真空泵3順序通過第七截止閥15、第三截止閥16連接PECVD爐管1，判斷管式PECVD爐管內漏和外漏的方法按如下步驟進行

步驟一、關閉所有氣動閥、關閉第七截止閥15，開啟主閥2、開啟第七截止閥15外其它所有截止閥，開啟真空泵將PECVD爐管1內部壓力抽至底壓P0；

步驟二、在步驟一的基礎上，關閉主閥2、關閉真空泵3，對PECVD爐管1進行保壓測試，如PECVD爐管1壓力每秒上升小于2mTorr，則PECVD爐管1漏率正常，即PECVD爐管1無泄露，如PECVD爐管1壓力每秒上升大于等于2mTorr，則PECVD爐管1有泄露，即存在內漏或/和外漏；

步驟三、如果存在內漏或/和外漏，在步驟二的基礎上，關閉所有截止閥，開啟主閥2，開啟真空泵將PECVD爐管1內部壓力抽至底壓P0；

步驟四、在步驟三的基礎上，關閉主閥2、關閉真空泵3，對PECVD爐管1進行保壓測試，如PECVD爐管1壓力每秒上升大于等于2mTorr，則PECVD爐管1為外漏，如PECVD爐管1壓力每秒上升小于2mTorr，則PECVD爐管1為內漏；

步驟五、在步驟四的基礎上，如果為外漏，則更換第一氣動閥8后，安步驟二進行對PECVD爐管1進行保壓測試，PECVD爐管1無泄露說明原來的第一氣動閥8有問題，如果繼續有PECVD爐管1有泄露；則更換第二氣動閥7，安步驟二進行對PECVD爐管1進行保壓測試，PECVD爐管1無泄露說明原來的第二氣動閥7有問題，如果繼續有PECVD爐管1有泄露，則更換第三氣動閥6，安步驟二進行對PECVD爐管1進行保壓測試，PECVD爐管1無泄露說明原來的第三氣動閥6有問題，如果繼續有PECVD爐管1有泄露，則更換第四氣動閥4，安步驟二進行對PECVD爐管1進行保壓測試，PECVD爐管1無泄露說明原來的第三氣動閥6有問題，如果繼續有PECVD爐管1有泄露說明存在管道裂縫，需要檢修管道；