[發明專利]一種判斷管式PECVD爐管內漏和外漏的方法在審
| 申請號： | 202011081416.2 | 申請日： | 2020-10-12 |
| 公開（公告）號： | CN112323047A | 公開（公告）日： | 2021-02-05 |
| 發明（設計）人： | 張云鵬;王玉;趙科巍;郭鵬;楊飛飛;秦鵬 | 申請（專利權）人： | 山西潞安太陽能科技有限責任公司 |
| 主分類號： | C23C16/50 | 分類號： | C23C16/50;C23C16/52 |
| 代理公司： | 太原市科瑞達專利代理有限公司 14101 | 代理人： | 李富元 |
| 地址： | 046000 山*** | 國省代碼： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 判斷 pecvd 爐管 方法 | ||
【權利要求書】：
1.本發明涉及太陽能電池生產領域。
2.一種判斷管式PECVD爐管內漏和外漏的方法，本發明通過關閉部分閥門對PECVD爐管1進行保壓測試，判斷PECVD爐管是否存在泄漏，以及在存在泄漏時，存在內部泄漏還是外部泄漏，以及具體在哪個位置存在泄漏。
3.本發明可以簡單準確的判斷管式PECVD爐管真空失敗的內漏方法，縮短了異常處理的時間，確保了車間的正常生產，提高了備品備件的使用壽命，節約了車間的備件成本。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
