[發明專利]一種用于調幅探針卡的緩沖結構

有效

• 申請號: 202011081015.7
• 申請日: 2020-10-11
• 公開（公告）號: CN112255435B
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 王艾琳;趙梁玉
• 申請（專利權）人: 強一半導體（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/04;G01R31/26;G01R31/28
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• 代理人: 暫無信息

本發明屬于探針卡技術領域，尤其涉及一種用于調幅探針卡的緩沖結構，緩沖結構設置在調幅探針卡的驅動結構上，驅動結構包括：驅動氣缸、限位氣缸、驅動氣缸滑塊和限位氣缸滑塊；所述緩沖結構包括：緩沖托板和緩沖墊，所述緩沖托板上設置有若干個緩沖墊，所述的驅動氣缸和限位氣缸均設置在所述的緩沖墊上；所述緩沖結構還包括：立板、緩沖筒、活塞塊、活塞塊頂桿、導向桿、導向桿滑筒、滑筒彈簧、滑筒推桿、滑筒鎖和滑筒鎖彈簧；通過緩沖托板和緩沖墊，將驅動氣缸和限位氣缸與探針卡隔離，減小震動，同時將驅動氣缸與驅動滑塊、限位氣缸與限位滑塊之間設置緩沖結構，減小氣缸伸出時產生的震動。

技術領域

本發明屬于探針卡技術領域，尤其涉及一種用于調幅探針卡的緩沖結構。

背景技術

隨著半導體工業的發展，越來越多的電子裝置被接入在半導體晶圓上，在半導體器件的制作過程中，將探針與半導體晶圓上的金屬端接觸，實現臨時的電連接，使測試儀的電信號通過探針傳輸到半導體器件，測試儀通過返回的電信號對半導體晶圓上的電子裝置進行檢測。

探針卡是連接半導體晶圓與測試儀之間的紐帶，通過將多個探針集成在探針卡上，使多個探針同時與半導體晶片上的多個半導體器件同時接觸，提高檢測效率。

在半導體器件的生產過程中，需要多次對一個或多個裝置內的大量電路觸點進行訪問，通過移動機構對探針卡進行移動，使探針與觸點接觸，同時，為匹配檢測過程中的多組觸點，探針卡需要設置多個，由固持器對探針卡進行固定，固持器為能夠旋轉的多面體，通過在每個面上設置一個或多個探針卡，或設置多個可移動的平臺對探針卡進行移動，實現探針卡與不同觸點組的匹配，通過對探針卡的互換實現匹配，單個探針卡無法通用，無法吸收驅動調幅時產生的震動。

發明內容

本發明克服了上述現有技術的不足，提供了一種用于調幅探針卡的緩沖結構，能夠調整探針的檢測幅度，使單個探針卡具有通用性，減少在驅動調幅時產生的震動。

本發明的技術方案：

一種調幅探針卡，包括探針、探針板、電路板和調幅結構，所述的探針被固定設置在探針板上，探針的一端連接至電路板，探針的另一端被夾持在調幅結構上；

所述的探針包括：探針頭、彎曲導線和固定導線，所述探針頭的一端為用于檢測的圓形探頭，探針頭的中部被夾持在調幅結構上，探針頭的另一端與彎曲導線的一端連接，該彎曲導線的中間為被彎曲的彈性結構，彎曲導線的另一端與固定導線的一端連接，固定導線的中間被固定在探針板上，固定導線的另一端與電路板連接；

所述的調幅結構包括：固定板、調幅板、調幅連接板、簧片、調幅夾板、調幅軸、主輥和偏心輥，所述的固定板與電路板固定連接，所述的調幅板上端固定連接在調幅連接板上，調幅板的下端垂直依次穿過固定板、電路板和探針板后與探針固定連接，所述調幅連接板的下端與固定板之間設置有簧片，調幅連接板的側面通過調幅夾板夾持，構成垂直于固定板方向的滑動結構，所述調幅連接板的上方設置有調幅軸，調幅軸上設置有主輥和偏心輥；

多個所述的調幅連接板沿所述的探針設置，其中一個所述的調幅連接板與一個主輥對應設置，剩余的調幅連接板均與一個偏心輥對應設置；

所述主輥為同軸設置在調幅軸上的圓輥，所述偏心輥內部設置有一個虛擬圓，偏心輥的邊緣處設置有到達該虛擬圓的偏心缺口，若干個偏心輥沿著從主輥至遠離主輥的方向，偏心輥上的偏心缺口依次增大，且多個偏心缺口的一側對齊。

進一步地，所述探針板包括：板體、探針槽、壓板槽和壓板，所述板體上設置有若干容納探針的探針槽，所述壓板槽橫穿探針槽設置，所述壓板設置在壓板槽內，壓板與板體固定連接。

進一步地，所述探針槽的底部和壓板的底部均設置有用于卡嵌探針的豁口。

進一步地，還包括減速結構，減速結構設置在固定板上，且減速結構與調幅軸連接。