[發(fā)明專利]一種用于調(diào)幅探針卡的緩沖結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011081015.7
• 申請日: 2020-10-11
• 公開（公告）號: CN112255435B
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王艾琳;趙梁玉
• 申請（專利權(quán)）人: 強(qiáng)一半導(dǎo)體（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/04;G01R31/26;G01R31/28
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• 代理人: 暫無信息

1.一種用于調(diào)幅探針卡的緩沖結(jié)構(gòu)，其特征在于，設(shè)置在驅(qū)動結(jié)構(gòu)（6）上，驅(qū)動結(jié)構(gòu)（6）包括：驅(qū)動氣缸（6-1）、限位氣缸（6-2）、驅(qū)動氣缸滑塊（6-3）和限位氣缸滑塊（6-5）；

所述緩沖結(jié)構(gòu)包括：緩沖托板（7-1）和緩沖墊（7-2），所述緩沖托板（7-1）上設(shè)置有若干個緩沖墊（7-2），所述的驅(qū)動氣缸（6-1）和限位氣缸（6-2）均設(shè)置在所述的緩沖墊（7-2）上；

所述緩沖結(jié)構(gòu)還包括：立板（7-3）、緩沖筒（7-4）、活塞塊（7-5）、活塞塊頂桿（7-6）、導(dǎo)向桿（7-7）、導(dǎo)向桿滑筒（7-8）、滑筒彈簧（7-9）、滑筒推桿（7-10）、滑筒鎖（7-11）和滑筒鎖彈簧（7-12），所述的立板（7-3）固定設(shè)在緩沖托板（7-1）上，立板（7-3）的一端與緩沖筒（7-4）的上端固定連接，緩沖筒（7-4）為雙筒結(jié)構(gòu)，緩沖筒（7-4）的內(nèi)部滑動設(shè)置有橫跨其內(nèi)部雙筒結(jié)構(gòu)的活塞塊（7-9），所述的限位氣缸（6-2）的伸出端穿過所述立板（7-3）并進(jìn)入所述緩沖筒（7-4）的一個筒體后與活塞塊（7-5）連接，所述活塞塊（7-5）的一側(cè)設(shè)置有活塞塊頂桿（7-6），所述緩沖筒（7-4）的下端與所述活塞塊頂桿（7-6）對應(yīng)設(shè)置有滑筒鎖（7-11），滑筒鎖（7-11）與緩沖筒（7-4）的內(nèi)壁之間設(shè)置有滑筒鎖彈簧（7-12），滑筒鎖（7-11）的上端設(shè)置有與所述活塞塊頂桿（7-6）配合的第一鎖舌，滑筒鎖（7-11）的左端設(shè)置有延伸至所述導(dǎo)向桿滑筒（7-8）滑動路徑上的第二鎖舌，所述活塞塊（7-5）上還設(shè)置有導(dǎo)向桿（7-7），導(dǎo)向桿（7-7）上套接有導(dǎo)向桿滑筒（7-8），且導(dǎo)向桿（7-7）與導(dǎo)向桿滑筒（7-8）之間設(shè)置有滑筒彈簧（7-9），導(dǎo)向桿滑筒（7-8）的下端設(shè)置有滑筒推桿（7-10），滑筒推桿（7-10）與所述限位氣缸滑塊（6-5）連接；

所述緩沖結(jié)構(gòu)還包括：第一齒條（7-13）、第一齒輪（7-14）、齒輪架（7-15）、齒輪軸（7-16）、渦卷彈簧（7-17）、第二齒輪（7-18）和第二齒條（7-19），所述第一齒條（7-13）的上端與所述驅(qū)動氣缸（6-1）的伸出端連接，第一齒條（7-13）的下端與所述第一齒輪（7-14）嚙合，所述第一齒輪（7-14）為空心齒輪，第一齒輪（7-14）轉(zhuǎn)動設(shè)置在齒輪架（7-15）上，第一齒輪（7-14）的內(nèi)部同軸設(shè)置有齒輪軸（7-16），且第一齒輪（7-14）和齒輪軸（7-16）之間設(shè)置有渦卷彈簧（7-17），齒輪軸（7-16）的一端伸出所述齒輪架（7-15）后與第二齒輪（7-18）連接，第二齒輪（7-18）與第二齒條（19）嚙合，第二齒條（7-19）的下端與所述驅(qū)動氣缸滑塊（6-3）連接。