[發明專利]測試元件組

在審

• 申請號: 202011079419.2
• 申請日: 2020-10-10
• 公開（公告）號: CN112201186A
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發明（設計）人: 吳瑞習
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: G09G3/00
• 分類號: G09G3/00;G09G3/36;G01R31/26;G01R1/073;G01R1/18;G01R1/04;H05F3/00
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 何志軍

本申請公開了一種測試元件組。測試元件組用于對一陣列基板進行電性測試，測試元件組包括：一測試治具，測試治具包括多組探針組，每一組探針組用于與一陣列基板上多個間隔設置的測試端子電性接觸；靜電消除裝置，每一靜電消除裝置設置于相鄰兩測試端子之間，用以消除探針組上的靜電。

技術領域

本申請涉及陣列基板檢測技術領域，尤其涉及一種測試元件組。

背景技術

陣列測試器(Array Tester，ATS)是TFT-LCD在Array制程完成后，對產品綜合性能檢測的一種設備，其測試方法是模擬TFT-LCD的工作原理，通過短路棒(Shorting bar)的方式，在陣列測試端子(Array Test Pad)一側，利用設備自身的測試治具，給TFT基板的有效顯示區域(Active Area，AA區域)進行加電測試。

實際生產中，陣列基板柵極驅動(Gate On Array，GOA)型TFT-LCD產品，在短路棒測試(Shorting bar testing)工序時，各金屬線路交叉(Cross)的位置易發生線路燒傷如圖1中A所示，導致不同層別的金屬線路短路(Short)，造成產品品質異常，如圖1所示的，圖1為現有技術中金屬走線發生短路燒傷的示意圖，其中所述金屬走線包括柵極測試信號線、源極測試信號線及漏極測試信號線，所述金屬走線分別用于各個所述測試端子與所述陣列基板的多個薄膜晶體管的柵極、源極及漏極之間的連接，以方便利用所述測試端子對所述薄膜晶體管進行測試。

請參閱圖2，圖2為現有技術中利用測試治具對TFT基板的測試端子進行電性測試的示意圖；如圖2所示的，通常由于設備自身的測試治具100如扎針Head(扎針頭)上的多個探針(pin)101上有靜電殘留，所述探針101與所述測試端子(Array test pad)200接觸時，靜電通過所述探針101與所述測試端子200的接觸進而進入所述TFT基板內部，可能導致所述TFT基板的絕緣層被燒傷，如圖1中所示的現象。

因此，為了實現在測試治具的探針與TFT基板的測試端子接觸前消除所述探針上的靜電，現需提供一種測試元件組。

發明內容

本申請實施例提供一種測試元件組，該測試元件組用于對一陣列基板的各個測試端子進行電性測試，該測試元件組包括靜電消除裝置、測試治具及測試機臺，通過在兩相鄰所述測試端子之間設置靜電消除裝置，在一測試治具上設置多組探針組，利用測試機臺與探針組電連接以獲取探針組的電信號，在依次檢測各個測試端子的電信號過程中，利用靜電消除裝置消除探針組上的靜電，從而有效降低和消除陣列基板的線路燒傷異常等現象。

本申請實施例提供一種測試元件組，用于對一陣列基板進行電性測試，所述測試元件組包括：一測試治具，所述測試治具包括多組探針組，每一組所述探針組用于與一所述陣列基板上多個間隔設置的測試端子電性接觸；測試機臺，與所述探針組電連接并用于獲取所述探針組上的電信號；靜電消除裝置，每一所述靜電消除裝置設置于相鄰兩所述測試端子之間，用以消除所述探針組上的靜電。

在一些實施例中，所述測試元件組還包括測試機臺，所述測試機臺與所述多組探針電連接，用于獲取所述探偵組上的電信號。

在一些實施例中，每一所述探針組包括間隔設置的一第一探針和一第二探針，每一所述探針組的所述第一探針、所述第二探針分別用于與一所述測試端子的兩端相接觸。

在一些實施例中，所述測試元件組還包括測試機臺，所述測試機臺與每一所述第一探針電連接并用于獲取所述第一探針上的電信號，并且所述測試機臺與每一所述第二探針電連接并用于獲取所述第二探針上的電信號。

在一些實施例中，所述測試機臺包括一電訊號實時監測儀，所述電訊號實時監測儀用于實時監測所述第一探針、所述第二探針的電信號的大小。

在一些實施例中，所述電訊號實時偵測儀包括多個偵測端，所述第一探針、所述第二探針分別通過數據信號線與所述偵測端電連接。