[發明專利]一種鍵合金絲用微管有效
| 申請號: | 202011070224.1 | 申請日: | 2020-10-09 |
| 公開(公告)號: | CN112309914B | 公開(公告)日: | 2022-09-02 |
| 發明(設計)人: | 李喜尼;黃智偉;黃斯哲 | 申請(專利權)人: | 江西銘源電氣有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/60 |
| 代理公司: | 南昌佳誠專利事務所 36117 | 代理人: | 閔蓉;詹彩霞 |
| 地址: | 344299 江*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 合金絲 微管 | ||
1.一種鍵合金絲用微管,包括微管體(10)和阻尼部(20),其特征在于,所述阻尼部(20)安裝在微管體(10)內部,鍵合金絲(30)筒微管體(10)頂部穿入并從其底部穿出,微管體(10)包括錐頭(11)、圓臺(12)、連桿(13)、中孔(14)、套筒(15),錐頭(11)位于圓臺(12)底部,圓臺(12)頂部具有連桿(13),連桿(13)向上連接引線鍵合機,連桿(13)中央具有中孔(14),鍵合金絲(30)從中孔(14)穿入微管體(10),阻尼部(20)包括推桿(21)、凸臺(22)、雙耳(23)、滑輪(24)、堵帽(25)和彈簧(26),推桿(21)安裝在套筒(15)內,推桿(21)前端具有凸臺(22),凸臺(22)用于安裝彈簧(26),凸臺(22)前端具有雙耳(23),雙耳(23)上安裝滑輪(24),套筒(15)的外端面安裝堵帽(25),堵帽(25)和推桿(21)的凸臺(22)之間安裝彈簧(26),推桿(21)穿過堵帽(25)安裝在套筒(15)內,阻尼部(20)具有四個,分別安裝在四個套筒(15)內。
2.如權利要求1所述的鍵合金絲用微管,其特征在于,所述中孔(14)向下連接細孔(16),細孔(16)向下貫通至錐頭(11)的底部。
3.如權利要求2所述的鍵合金絲用微管,其特征在于,所述細孔(16)的孔徑與鍵合金絲(30)呈間隙配合。
4.如權利要求1所述的鍵合金絲用微管,其特征在于,所述凸臺(22)的直徑小于套筒(15)的內徑,使得推桿(21)可以置入套筒(15)內。
5.如權利要求1所述的鍵合金絲用微管,其特征在于,所述滑輪(24)周圈具有圓弧槽,圓弧槽內安裝鍵合金絲(30)。
6.如權利要求1所述的鍵合金絲用微管,其特征在于,所述堵帽(25)在套筒(15)外端面的安裝為螺紋安裝或過盈配合。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





