[發(fā)明專利]光學基板上貴金屬膜層的加工方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011069648.6 | 申請日: | 2020-10-09 |
| 公開(公告)號: | CN111935914A | 公開(公告)日: | 2020-11-13 |
| 發(fā)明(設計)人: | 吳岳;邢剛;陳銀培 | 申請(專利權)人: | 浙江嘉美光電科技有限公司 |
| 主分類號: | H05K3/12 | 分類號: | H05K3/12;B41M1/12;B41M1/26;B41M7/00 |
| 代理公司: | 杭州華知專利事務所(普通合伙) 33235 | 代理人: | 張德寶 |
| 地址: | 314400 浙江省嘉興*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光學 基板上 貴金屬 加工 方法 | ||
本發(fā)明提供了一種光學基板上貴金屬膜層的加工方法,包括以下步驟:在光學基板上做定位標記;將網版與光學基板定位后,將貴金屬漿液絲網印刷于光學基板上形成貴金屬膜層;高溫使貴金屬膜層固化。本發(fā)明提供的光學基板上貴金屬膜層的加工方法,采用絲網印刷工藝將貴金屬漿液印刷于光學基板上形成貴金屬膜層,并通過高溫將貴金屬膜層直接焊接于光學基板表面,能夠大大減小貴金屬的浪費,且工藝流程簡單易實現,降低了光學基板的加工成本,提高了其品質穩(wěn)定性。
技術領域
本發(fā)明涉及光學基板加工技術領域,特別涉及一種光學基板上貴金屬膜層的加工方法。
背景技術
目前LED行業(yè)發(fā)展對封裝基板的要求越來越高,尤其是要求其具有良好的散熱性能及光學性能,這就推動了石英基板、水晶基板等光學基板的應用。傳統(tǒng)LED封裝基板上貴金屬圖形化電路層的加工,一般使用鍍膜工藝。傳統(tǒng)工藝流程中使用蒸發(fā)鍍膜技術或者濺射鍍膜技術,鍍膜設備成本高,且在鍍膜過程中部分貴金屬材料鍍膜到設備腔體或者擋板上,需要回收,僅有50%左右的貴金屬材料鍍膜到基板表面,造成貴金屬材料的浪費且鍍膜效率低;另外,即使鍍膜到基板表面的貴金屬也會在后續(xù)的脫膠工藝中剝離進入廢液中。
發(fā)明內容
本發(fā)明提供一種光學基板上貴金屬膜層的加工方法,以解決現有技術中貴金屬膜層加工成本高、效率低的技術問題。
為達到上述目的,本發(fā)明的技術方案是這樣實現的:
本發(fā)明提供了一種光學基板上貴金屬膜層的加工方法,包括以下步驟:S1、在光學基板上做定位標記;S2、將網版與所述光學基板定位后,將貴金屬漿液絲網印刷于所述光學基板上形成貴金屬膜層;S3、高溫使所述貴金屬膜層固化。
進一步地,所述光學基板為石英基板或者水晶基板。
進一步地,所述步驟S3中,所述貴金屬膜層的固化溫度為650℃~850℃。
進一步地,所述步驟S3具體包括:將表面形成有所述貴金屬膜層的所述光學基板放置在焊接爐中,將所述焊接爐中的溫度以60℃/min~100℃/min的速率升溫至所述固化溫度,固化30min~40min后,以60℃/min~100℃/min的速率降低至常溫,完成所述貴金屬膜層的固化。
進一步地,所述步驟S2中采用CCD光學對位的方法將絲網印刷用的所述網版與所述光學基板進行定位。
進一步地,在所述步驟S3之后,所述貴金屬膜層的加工方法還包括以下步驟:在所述光學基板的表面涂膠;對所述光學基板上的多余的貴金屬膜層區(qū)域以及非貴金屬膜層區(qū)域進行光刻、顯影;蝕刻去除多余的貴金屬膜層;將所述光學基板進行脫膠處理。
進一步地,所述貴金屬膜層的尺寸精度小于或者等于20μm。
進一步地,所述步驟S2中將所述貴金屬漿液進行絲網印刷的環(huán)境溫度為20℃~26℃。
本發(fā)明提供的光學基板上貴金屬膜層的加工方法,采用絲網印刷工藝將貴金屬漿液印刷于光學基板上形成貴金屬膜層,并通過高溫將貴金屬膜層直接焊接于光學基板表面,能夠大大減小貴金屬的浪費,且工藝流程簡單易實現,降低了光學基板的加工成本,提高了其品質穩(wěn)定性。
具體實施方式
下面結合具體實施例對本發(fā)明再作進一步詳細的說明。
本申請實施例提供了一種光學基板上貴金屬膜層的加工方法,包括以下步驟:S1、在光學基板上做定位標記;S2、將網版與光學基板定位后,將貴金屬漿液絲網印刷于光學基板上形成貴金屬膜層;S3、高溫使貴金屬膜層固化。
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