[發(fā)明專利]一種半導體晶片表面真空鍍膜機

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• 申請日: 2020-10-07
• 公開（公告）號: CN112159958A
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發(fā)明（設計）人: 楊保長
• 申請（專利權）人: 楊保長
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56;C23C14/54
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種半導體晶片表面真空鍍膜機，其結構包括冷卻裝置、真空泵、抽氣管、真空腔、輔助加熱片、蒸發(fā)源、卷輥、電機，本發(fā)明改進后進行使用時，工作人員通過水管將冷卻水導送到儲水槽內(nèi)部，冷卻水通過連通管導送導入件內(nèi)部，導入件將冷卻水穩(wěn)定的輸送到接水槽內(nèi)部，接水槽內(nèi)部的冷卻水通過接管導送到分流件內(nèi)部，通過分流條將導水槽分成三個部分，三個導水槽內(nèi)部的冷卻水可以通過互通孔互相流通，使得冷卻水可以快速的通過出口導出，可以將冷卻水穩(wěn)定的送出口導流到的薄膜上，使得分流件內(nèi)部的冷卻水均勻的噴灑在薄膜上，防止薄膜表面因高溫出現(xiàn)褶皺，保證薄膜表面的平整，提高薄膜的鍍膜效果。

技術領域

本發(fā)明涉及半導體領域，具體涉及到一種半導體晶片表面真空鍍膜機。

背景技術

鍍膜機又稱真空鍍膜機，主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種，需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材，在進行蒸鍍時，通過水冷輥對薄膜進行牽拉冷卻，有效防止薄膜出現(xiàn)形變褶皺，在對蒸鍍材料進行鍍膜時，需要改進的地方：

在對蒸鍍材料進行鍍膜時，將需要鍍膜的薄膜卷放在鍍膜機的安裝座處，通過導輥將薄膜從薄膜卷上拉出，通過蒸發(fā)源對薄膜進行蒸鍍處理，在蒸鍍過程中，薄膜的耐熱溫度有限，若是薄膜在高溫下進行蒸鍍會出現(xiàn)收縮變形，使得薄膜表面因高溫出現(xiàn)褶皺，導致薄膜的表面不平整，影響薄膜的鍍膜處理，不利于薄膜后續(xù)的收卷處理，降低蒸鍍材料的鍍膜效果。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術存在的不足，本發(fā)明目的是提供一種半導體晶片表面真空鍍膜機。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明是通過如下的技術方案來實現(xiàn)：一種半導體晶片表面真空鍍膜機，其結構包括冷卻裝置、真空泵、抽氣管、真空腔、輔助加熱片、蒸發(fā)源、卷輥、電機，所述冷卻裝置安裝在真空腔內(nèi)部，所述真空腔頂部設有蒸發(fā)源，所述蒸發(fā)源上設有輔助加熱片，所述輔助加熱片貫穿真空腔與蒸發(fā)源相連通，所述蒸發(fā)源設在真空腔正上方，所述冷卻裝置與蒸發(fā)源設在同一平面上，所述冷卻裝置安裝在真空腔內(nèi)部，所述冷卻裝置底部安裝有卷輥，所述卷輥與冷卻裝置通過真空腔連接，所述真空腔兩側分別設有真空泵和電機，所述真空泵上設有抽氣管，所述抽氣管垂直插嵌在真空泵上，遠離真空泵的一端貫穿連接在真空腔內(nèi)部，所述真空腔與電機通過電線進行電性連接。

作為發(fā)明內(nèi)容的進一步改進，所述冷卻裝置包括有固定桿、卡座、薄膜、展平槽、導輥、支撐板，所述固定桿頂部設有卡座，所述卡座平行卡接在固定桿頂部，所述卡座兩側設有導輥，所述導輥遠離卡座的一端與展平槽相接，所述展平槽內(nèi)部連接有薄膜，所述薄膜平行貫穿在展平槽內(nèi)部，所述薄膜兩端通過展平槽與導輥相接，所述固定桿安裝在真空腔內(nèi)部，所述固定桿底部安裝有卷輥，所述展平槽頂部正對著蒸發(fā)源，所述

作為發(fā)明內(nèi)容的進一步改進，所述展平槽包括有頂壓桿、撐塊、定位塊、冷卻組件，所述頂壓桿安裝在定位塊上，所述頂壓桿頂部設有冷卻組件，所述冷卻組件平行卡接在頂壓桿上，所述冷卻組件設在撐塊中間位置上，所述冷卻組件與薄膜相接觸，所述冷卻組件通過薄膜與導輥相接。

作為發(fā)明內(nèi)容的進一步改進，所述冷卻組件包括有卡板、轉輪、連通管、水冷輥、導流盤，所述卡板頂部安裝有水冷輥，所述水冷輥平行嵌合在卡板上，所述卡板等距環(huán)形扣接在轉輪上，所述轉輪內(nèi)部中間位置設有導流盤，所述導流盤與轉輪之間通過連通管連通，所述連通管一端貫穿連接在導流盤上，遠離導流盤的一端與水冷輥相連通，所述轉輪外部與撐塊相接，所述轉輪與頂壓桿相吻合，所述水冷輥與薄膜相接觸，所述水冷輥通過薄膜與導輥相接。

作為發(fā)明內(nèi)容的進一步改進，所述導流盤包括有冷凝管、循環(huán)導管、分水筒、儲水槽，所述冷凝管與循環(huán)導管等量環(huán)形安裝在分水筒內(nèi)部，所述分水筒內(nèi)部中間設有儲水槽，所述儲水槽與冷凝管和循環(huán)導管相連通，所述分水筒安裝在轉輪內(nèi)部中間，所述儲水槽通過分水筒與連通管相連通。