[發(fā)明專利]一種楔形超薄光學(xué)玻璃加工工藝

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011067107.X
• 申請(qǐng)日: 2020-10-05
• 公開（公告）號(hào): CN112296765A
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張有良;葉勇越;陳德喜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中山市光大光學(xué)儀器有限公司
• 主分類號(hào): B24B1/00
• 分類號(hào): B24B1/00;B24B13/005;B24B57/02;B08B11/00;B08B3/08;B08B1/00
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1.一種楔形超薄光學(xué)玻璃加工工藝，其特征在于,包括如下步驟：

步驟1：放置待加工的光學(xué)玻璃，將待加工的光學(xué)玻璃放置于拋光機(jī)的固定工具上進(jìn)行固定；

步驟2：粗磨，使用拋光機(jī)對(duì)光學(xué)玻璃表面進(jìn)行粗磨加工；

步驟3：精磨，粗磨尺寸達(dá)到要求后，使用預(yù)先勾兌的拋光液，在氣壓為0，轉(zhuǎn)速5r/min的條件下進(jìn)行面型修正，修正時(shí)間為40～60min；

步驟4：質(zhì)檢，角度最大誤差30秒、高度最大誤差0.02mm、面型精度1/4@632.8nm的產(chǎn)品為合格產(chǎn)品，對(duì)合格產(chǎn)品進(jìn)行入庫(kù)即可。

2.如權(quán)利要求1所述的一種楔形超薄光學(xué)玻璃加工工藝，其特征在于，所述步驟1中，在光學(xué)玻璃與拋光機(jī)的固定工具進(jìn)行固定時(shí)，采用真空吸附方式進(jìn)行固定，確保產(chǎn)品與工具用光面相貼，同時(shí)不可出現(xiàn)光圈。

3.如權(quán)利要求1所述的一種楔形超薄光學(xué)玻璃加工工藝，其特征在于，所述精磨的銑磨面平行度控制在0.003mm以內(nèi)。

4.如權(quán)利要求3所述的一種楔形超薄光學(xué)玻璃加工工藝，其特征在于，所述精磨用的拋光液pH值為0.05。

5.如權(quán)利要求1～4任一所述的一種楔形超薄光學(xué)玻璃加工工藝，其特征在于，在步驟1放置待加工的光學(xué)玻璃前，對(duì)拋光工具的精密度進(jìn)行校驗(yàn)，控制工具最大角度誤差5秒、最大高度誤差0.005mm。

6.如權(quán)利要求1所述的一種楔形超薄光學(xué)玻璃加工工藝，其特征在于，在步驟2粗磨完成后，對(duì)光學(xué)玻璃進(jìn)行清洗，清洗步驟包括如下：

步驟1：將事先調(diào)配的酸洗劑倒入塑料容器上方的漏斗中；

步驟2：將光學(xué)玻璃置于塑料容器內(nèi)漏斗正下方位置懸空；

步驟3：打開漏斗的閥門使酸洗劑均勻澆在光學(xué)玻璃的粗磨面上；

步驟4：使用超細(xì)纖維無塵布擦拭清洗光學(xué)玻璃；

步驟5：將光學(xué)玻璃置于密閉空間內(nèi)進(jìn)行干燥。

7.如權(quán)利要求6所述的一種楔形超薄光學(xué)玻璃加工工藝，其特征在于，所述步驟5中，干燥采用真空干燥方式進(jìn)行，真空度0.08MPa。

8.如權(quán)利要求7所述的一種楔形超薄光學(xué)玻璃加工工藝，其特征在于，所述步驟5中，在進(jìn)行真空干燥前，將光學(xué)玻璃置于溫度60～65℃的蒸餾水中靜置15～20min，再取出進(jìn)行真空干燥。

9.如權(quán)利要求6所述的一種楔形超薄光學(xué)玻璃加工工藝，其特征在于，所述酸洗劑的成分為：12～15wt%的有機(jī)酸、3～5wt%的助洗擠、12～19wt%的螯合劑、1.5～2.8wt%的表面活性劑、0.7wt%的分散劑以及余量的水。