[發(fā)明專利]一種可變焦微透鏡組的制備方法及可變焦微透鏡組

在審

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• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN112198623A
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發(fā)明（設計）人: 廖常銳;王義平;李博哲;劉亦帆
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳大學
• 主分類號: G02B7/10
• 分類號: G02B7/10;G03F7/00
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 李健威

本發(fā)明公開了一種可變焦微透鏡組的制備方法，包括如下步驟：S100：提供一非磁性鏡筒，所述非磁性鏡筒內(nèi)形成有位置固定的非磁性透鏡，將磁性光刻膠注入所述非磁性鏡筒內(nèi)；S200：依據(jù)磁性透鏡的三維模型向焦點處投射飛秒激光脈沖，同時帶動所述非磁性鏡筒內(nèi)的所述磁性光刻膠進行三維移動，以將所述磁性光刻膠的聚合固化點依次定位至焦點處進行聚合固化，使得所述磁性光刻膠的內(nèi)部聚合固化成所述磁性透鏡的形狀；S300：采用顯影液去除未聚合固化的所述磁性光刻膠，得到可在所述非磁性鏡筒內(nèi)沿光軸方向移動的磁性透鏡。該制備方法可直接在非磁性鏡筒內(nèi)制作可由磁場力驅(qū)動的磁性透鏡。本發(fā)明還公開了一種可變焦微透鏡組。

技術領域

本發(fā)明涉及微電機領域，尤其涉及一種可變焦微透鏡組的制備方法及可變焦微透鏡組。

背景技術

透鏡驅(qū)動裝置是一種微電機裝置，通過驅(qū)動透鏡和透鏡之間相對移動或者透鏡和圖像傳感器之間相對移動來實現(xiàn)光學變焦或?qū)构δ?。基于電磁原理進行驅(qū)動的透鏡驅(qū)動裝置廣泛應用于手機攝像頭中，這類透鏡驅(qū)動裝置需要在搭載透鏡的鏡筒外圍上纏繞一層電磁線圈，工藝復雜，不利于小型化集成，更不利于做成微納器件，同時透鏡大多采用玻璃或塑料制成，而鏡筒也采用塑料制成，生物兼容性不好，影響了在醫(yī)學領域中的應用。

激光微加工技術具有非接觸、有選擇性加工、熱影響區(qū)域小、高精度、形狀易于控制等優(yōu)點。激光微加工獨特的“直寫”技術，簡化了工藝，實現(xiàn)了微型構(gòu)件的快速成型制造。激光微立體光刻技術是快速成型的立體光刻工藝應用于微制造領域中衍生出來的一種加工技術，它以樹脂材料為原料，激光焦點處或樹脂基底可控運動，焦點處掃描處樹脂聚合固化，獲得微構(gòu)件。其最大特點是不受微型器件或系統(tǒng)結(jié)構(gòu)形狀的限制，可以加工包含曲面在內(nèi)的任意三維結(jié)構(gòu)，并且可以將不同的微構(gòu)件一次成型，不需微裝配環(huán)節(jié)。在微立體光刻中利用飛秒脈沖激光實現(xiàn)三維微加工具有顯著優(yōu)點；包括“冷”加工，光和物質(zhì)超快相互作用過程超快、功率極高，使加工過程在最大限度上避免了熱效應；高精度，由于多光子過程的吸收截面非常小，使加工精度達到幾十納米。因此，激光微納加工技術已經(jīng)被看作是制備微結(jié)構(gòu)的最有效手段之一，擁有巨大的應用潛力和誘人的發(fā)展前景。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述現(xiàn)有技術的不足，本發(fā)明提供一種可變焦微透鏡組的制備方法，可直接在非磁性鏡筒內(nèi)制作可由磁場力驅(qū)動的磁性透鏡。

本發(fā)明還提供一種可變焦微透鏡組。

本發(fā)明所要解決的技術問題通過以下技術方案予以實現(xiàn)：

一種可變焦微透鏡組的制備方法，包括如下步驟：

S100：提供一非磁性鏡筒，將磁性光刻膠注入所述非磁性鏡筒內(nèi)；

S200：依據(jù)磁性透鏡的三維模型向一焦點處投射飛秒激光脈沖，同時帶動所述非磁性鏡筒內(nèi)的所述磁性光刻膠進行三維移動，以將所述磁性光刻膠的聚合固化點依次定位至焦點處進行聚合固化，使得所述磁性光刻膠的內(nèi)部聚合固化成所述磁性透鏡的形狀；

S300：采用顯影液去除未聚合固化的所述磁性光刻膠，得到可在所述非磁性鏡筒內(nèi)沿光軸方向移動的磁性透鏡。

進一步地，所述非磁性鏡筒的制備方法包括如下步驟：

S101：提供一基底，將非磁性光刻膠滴在所述基底上；

S102：依據(jù)所述非磁性鏡筒的三維模型向焦點處投射飛秒激光脈沖，同時帶動所述基底上的所述非磁性光刻膠進行三維移動，以將所述非磁性光刻膠的聚合固化點依次定位至焦點處進行聚合固化，使得所述非磁性光刻膠的內(nèi)部聚合固化成所述非磁性鏡筒的形狀；

S103：采用顯影液去除未聚合固化的所述非磁性光刻膠，得到所述非磁性鏡筒。

進一步地，在步驟S101中，在將所述非磁性光刻膠滴在所述基底上后，還包括：將一蓋玻片蓋在所述非磁性光刻膠上。