[發明專利]一種可變焦微透鏡組的制備方法及可變焦微透鏡組

在審

• 申請號: 202011065373.9
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN112198623A
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發明（設計）人: 廖常銳;王義平;李博哲;劉亦帆
• 申請（專利權）人: 深圳大學
• 主分類號: G02B7/10
• 分類號: G02B7/10;G03F7/00
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 李健威

1.一種可變焦微透鏡組的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

S100：提供一非磁性鏡筒，將磁性光刻膠注入所述非磁性鏡筒內；

S200：依據磁性透鏡的三維模型向一焦點處投射飛秒激光脈沖，同時帶動所述非磁性鏡筒內的所述磁性光刻膠進行三維移動，以將所述磁性光刻膠的聚合固化點依次定位至焦點處進行聚合固化，使得所述磁性光刻膠的內部聚合固化成所述磁性透鏡的形狀；

S300：采用顯影液去除未聚合固化的所述磁性光刻膠，得到可在所述非磁性鏡筒內沿光軸方向移動的磁性透鏡。

2.根據權利要求1所述的可變焦微透鏡組的制備方法，其特征在于，所述非磁性鏡筒的制備方法包括如下步驟：

S101：提供一基底，將非磁性光刻膠滴在所述基底上；

S102：依據所述非磁性鏡筒的三維模型向焦點處投射飛秒激光脈沖，同時帶動所述基底上的所述非磁性光刻膠進行三維移動，以將所述非磁性光刻膠的聚合固化點依次定位至焦點處進行聚合固化，使得所述非磁性光刻膠的內部聚合固化成所述非磁性鏡筒的形狀；

S103：采用顯影液去除未聚合固化的所述非磁性光刻膠，得到所述非磁性鏡筒。

3.根據權利要求2所述的可變焦微透鏡組的制備方法，其特征在于，在步驟S101中，在將所述非磁性光刻膠滴在所述基底上后，還包括：將一蓋玻片蓋在所述非磁性光刻膠上。

4.根據權利要求3所述的可變焦微透鏡組的制備方法，其特征在于，在步驟S101中，所述基底在所述非磁性光刻膠的外圍處凸出形成有墊高部或設置有墊高物，以將所述蓋玻片墊高，使所述蓋玻片和基底之間留有一定的加工空隙，以容納所述非磁性光刻膠。

5.根據權利要求1-4中任一所述的可變焦微透鏡組的制備方法，其特征在于，所述非磁性鏡筒內形成有位置固定的非磁性透鏡。

6.一種可變焦微透鏡組，其特征在于，包括非磁性鏡筒和磁性透鏡，所述磁性透鏡設置于所述非磁性鏡筒內，且在磁場力的作用下可在所述非磁性鏡筒內沿光軸方向移動。

7.根據權利要求6所述的可變焦微透鏡組，其特征在于，所述非磁性鏡筒內形成有位置固定的非磁性透鏡。

8.根據權利要求6或7所述的可變焦微透鏡組，其特征在于，所述非磁性鏡筒的側壁內壁上凸出形成有第一卡位結構和第二卡位結構，所述第一卡位結構和第二卡位結構沿光軸方向相對；所述磁性透鏡位于所述第一卡位結構和第二卡位結構之間。

9.根據權利要求6-8中任一所述的可變焦微透鏡組，其特征在于，所述非磁性鏡筒的側壁上開設有至少一鏤空槽。

10.根據權利要求6-9中任一所述的可變焦微透鏡組，其特征在于，所述非磁性鏡筒采用非磁性光刻膠制作，所述磁性透鏡采用磁性光刻膠制作。