[發明專利]一種晶圓蝕刻載具設備

在審

• 申請號: 202011064354.4
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN112117222A
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 李娜
• 申請（專利權）人: 李娜
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓蝕刻載具設備，其結構包括蝕刻箱(1)、控制器(2)、觀察窗口(3)、排液管(4)、滑塊(5)，所述控制器(2)通過螺栓連接于蝕刻箱(1)前側，所述觀察窗口(3)嵌設于蝕刻箱(1)右上表面，所述排液管(4)貫穿于蝕刻箱(1)右壁，所述滑塊(5)通過活動卡合連接于蝕刻箱(1)前側，其特征在于：

所述蝕刻箱(1)包括隔板(11)、底板(12)、升降器(13)、頂板(14)、置物板(15)、擦拭塊(16)，所述隔板(11)垂直嵌固于蝕刻箱(1)左內部，所述底板(12)底部通過焊接連接于蝕刻箱(1)內底部表面，所述升降器(13)底端通過配合安裝于底板(12)上表面，所述頂板(14)嵌固于升降器(13)頂部，所述置物板(15)下表面緊貼于頂板(14)上表面。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓蝕刻載具設備，其特征在于：所述置物板(15)包括限位板(151)、夾緊板(152)、置物槽(153)，所述限位板(151)底部焊接在置物板(15)上表面，所述夾緊板(152)嵌固于限位板(151)內側，所述置物槽(153)嵌設于夾緊板(152)上表面。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓蝕刻載具設備，其特征在于：所述夾緊板(152)包括定位塊(a1)、支撐桿(a2)、推塊(a3)，所述定位塊(a1)與夾緊板(152)底部為一體化結構，所述支撐桿(a2)通過間隙連接于定位塊(a1)上壁，所述推塊(a3)底部緊貼于支撐桿(a2)頂端。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓蝕刻載具設備，其特征在于：所述支撐桿(a2)包括定位板(a21)、吸快(a22)、支撐彈簧(a23)、固定板(a24)，所述定位板(a21)頂部通過焊接連接于支撐桿(a2)底端，所述吸快(a22)與支撐彈簧(a23)頂端分別嵌固于定位板(a21)下表面，所述固定板(a24)通過焊接連接于支撐彈簧(a23)末端且嵌固于定位塊(a1)內底部。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓蝕刻載具設備，其特征在于：所述擦拭塊(16)包括固定桿(161)、限位輥(162)、轉輥(163)，所述固定桿(161)頂端焊接在擦拭塊(16)內底部，所述限位輥(162)通過活動卡合連接于擦拭塊(16)內底部，所述轉輥(163)通過螺栓連接于固定桿(161)末端。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓蝕刻載具設備，其特征在于：所述轉輥(163)包括擋板(b1)、滑槽(b2)、刷拭器(b3)，所述擋板(b1)安裝在轉輥(163)內部，所述滑槽(b2)嵌設于擋板(b1)上表面，所述刷拭器(b3)頂端通過焊接連接于擋板(b1)底部。

7.根據權利要求6所述的一種晶圓蝕刻載具設備，其特征在于：所述刷拭器(b3)由組成刷條(b31)、凹塊(b32)、支撐塊(b33)、彈性片(b34)，所述凹塊(b32)嵌設于刷條(b31)外表面，所述支撐塊(b33)通過焊接連接于兩跟刷條(b31)之間，所述彈性片(b34)左右兩端分別嵌固于左右兩側的刷條(b31)內側。