[發明專利]試樣成分估計方法及其裝置、學習方法以及記錄介質

在審

• 申請號: 202011061191.4
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN112782204A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 大越曉
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01N23/2209
• 分類號: G01N23/2209;G01N23/223;G01N23/2252;G06N3/04;G06N3/08
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

本發明提供一種試樣成分估計方法及其裝置、學習方法以及記錄介質。試樣成分估計方法包括以下步驟：獲取由波長分散型的X射線分析裝置(100)測定出的試樣的頻譜；確定試樣的分析對象元素及與分析對象元素對應的輸入波長范圍；以及將試樣的頻譜中的輸入波長范圍的頻譜輸入到第一學習完成模型(44)，來估計試樣中的分析對象元素的化學鍵合狀態。

技術領域

本發明涉及一種試樣成分估計方法、試樣成分估計裝置、學習方法以及非暫態計算機可讀記錄介質。

背景技術

在電子探針顯微分析儀(EPMA：Electron Probe Micro Analyzer)等X射線分析裝置中，已知有如下方法：為了估計構成試樣的元素的化學鍵合狀態，使用從試樣放出的特征X射線譜。

在使用特征X射線譜來估計分析對象元素的化學鍵合狀態的情況下，利用以下現象：根據化學鍵合狀態的不同，頻譜的峰波長、半峰寬等頻譜波形的形狀以及多個特征X射線種類(峰)間的強度比等發生變化。也就是說，通過在已知組成的化合物的頻譜波形與分析對象試樣的頻譜波形之間比較上述參數，來估計分析對象元素的化學鍵合狀態。該方法一般被稱為“狀態分析”。

例如，在日本特開2003-75376號公報中，公開了以下技術：基于鎢的Mα線和Mβ線來分析鎢的化學鍵合狀態。在日本特開2014-228307號公報中，公開了以下技術：基于氧的Kα線和sKα線的強度、以及鋁的Kβ線的半值寬度來分析鋁的化學鍵合狀態。

發明內容

在解析頻譜波形來進行狀態分析的情況下，通常進行如下的處理。最初根據分析對象的頻譜波形求出基線并減去該基線，來求出峰波長、峰強度以及半值寬度。此時，對于組成已知的試樣也是，測定頻譜波形，并進行同樣的處理。接著，將兩者的頻譜波形在圖表上重疊顯示，來比較波形的形狀，并且比較上述參數(峰波長、峰強度以及半值寬度)。在有多個峰的情況下，還比較它們的強度比。

然而，進行上述那樣的處理對用戶來說很繁雜。另外，根據分析對象元素及其化合物的不同，要關注怎樣的參數是不同的，因此需要分析上的知識和經驗，未必能說對所有用戶而言都容易。并且，并非所有用戶都保持有已知組成的試樣。

本發明是為了解決上述的問題而完成的，本發明的目的在于提供如下一種技術：在使用由X射線分析裝置測定出的頻譜來進行試樣的狀態分析的情況下，能夠簡單且容易地估計試樣中的分析對象元素的化學鍵合狀態。

本發明的一個方式所涉及的試樣成分估計方法包括以下步驟：獲取由波長分散型的X射線分析裝置測定出的試樣的頻譜；確定試樣的分析對象元素及與分析對象元素對應的輸入波長范圍；以及將試樣的頻譜中的輸入波長范圍的頻譜輸入到第一學習完成模型，來估計試樣中的分析對象元素的化學鍵合狀態。

本發明的一個方式所涉及的試樣成分估計裝置具備：頻譜獲取部，其獲取由波長分散型的X射線分析裝置測定出的試樣的頻譜；輸入部，其確定試樣的分析對象元素及與分析對象元素對應的輸入波長范圍；化合物種識別部，其將試樣的頻譜中的輸入波長范圍的頻譜輸入到第一學習完成模型，來估計試樣中的所述分析對象元素的化學鍵合狀態；以及顯示部，其顯示所估計出的化學鍵合狀態。

本發明的一個方式所涉及的非暫態計算機可讀記錄介質記錄由計算機執行的試樣成分估計程序。試樣成分估計程序使計算機執行以下步驟：獲取由波長分散型的X射線分析裝置測定出的試樣的頻譜；確定試樣的分析對象元素及與分析對象元素對應的輸入波長范圍；以及將試樣的X射線頻譜中的輸入波長范圍的頻譜輸入到第一學習完成模型，來估計試樣中的分析對象元素的化學鍵合狀態。