[發(fā)明專(zhuān)利]溫度測(cè)量系統(tǒng)和溫度測(cè)量方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011060754.8
• 申請(qǐng)日: 2020-09-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112697295A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳同;永井健治
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G01K11/00
• 分類(lèi)號(hào): G01K11/00
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種溫度測(cè)量系統(tǒng)，用于對(duì)具有第一主表面及與所述第一主表面相向的第二主表面的測(cè)定對(duì)象物的溫度進(jìn)行測(cè)量，所述溫度測(cè)量系統(tǒng)具備：

光源部，其用于產(chǎn)生輸出光，所述輸出光包括第一波長(zhǎng)范圍及與所述第一波長(zhǎng)范圍不同的第二波長(zhǎng)范圍，所述輸出光透過(guò)所述測(cè)定對(duì)象物；

至少一個(gè)光學(xué)元件，其向所述測(cè)定對(duì)象物的所述第一主表面射出來(lái)自所述光源部的所述輸出光，并且來(lái)自所述第一主表面和所述第二主表面的反射光入射到該至少一個(gè)光學(xué)元件；

測(cè)定部，其與所述至少一個(gè)光學(xué)元件連接，來(lái)測(cè)定依賴(lài)于波長(zhǎng)的來(lái)自所述第一主表面和所述第二主表面的所述反射光的光譜；

光程比計(jì)算部，其通過(guò)對(duì)由所述測(cè)定部測(cè)定出的所述光譜進(jìn)行傅立葉變換來(lái)計(jì)算光程比，所述光程比為關(guān)于所述第一波長(zhǎng)范圍的所述輸出光的光程即第一光程與關(guān)于所述第二波長(zhǎng)范圍的所述輸出光的光程即第二光程之比；以及

溫度計(jì)算部，其基于所述光程比及預(yù)先獲取的折射率比與所述測(cè)定對(duì)象物的溫度之間的關(guān)系，來(lái)計(jì)算所述測(cè)定對(duì)象物的溫度，所述折射率比為關(guān)于所述第一波長(zhǎng)范圍的所述輸出光的在所述測(cè)定對(duì)象物的折射率即第一折射率與關(guān)于所述第二波長(zhǎng)范圍的所述輸出光的在所述測(cè)定對(duì)象物的折射率即第二折射率之比。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，

所述光源部具有發(fā)出所述第一波長(zhǎng)范圍的光的第一光源、發(fā)出所述第二波長(zhǎng)范圍的光的第二光源、以及用于傳播將所述第一波長(zhǎng)范圍的光和所述第二波長(zhǎng)范圍的光合波后的所述輸出光的合波器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的溫度測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，

所述測(cè)定部具有：第一分光器，其用于測(cè)定第一反射光的所述光譜，該第一反射光為通過(guò)所述第一波長(zhǎng)范圍的所述輸出光產(chǎn)生的來(lái)自所述第一主表面和所述第二主表面的所述反射光；以及第二分光器，其用于測(cè)定第二反射光的所述光譜，該第二反射光為通過(guò)所述第二波長(zhǎng)范圍的所述輸出光產(chǎn)生的來(lái)自所述第一主表面和所述第二主表面的所述反射光。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項(xiàng)所述的溫度測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，

所述至少一個(gè)光學(xué)元件包括多個(gè)光學(xué)元件。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中的任一項(xiàng)所述的溫度測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，

所述測(cè)定對(duì)象物由硅構(gòu)成，

所述第一波長(zhǎng)范圍為1200nm以上且1300nm以下，

所述第二波長(zhǎng)范圍為1500nm以上且1600nm以下。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中的任一項(xiàng)所述的溫度測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，

所述至少一個(gè)光學(xué)元件設(shè)置于收容所述測(cè)定對(duì)象物的基板處理裝置，

所述測(cè)定對(duì)象物為基板、聚焦環(huán)以及上部電極中的至少一方。

7.一種溫度測(cè)量方法，對(duì)具有第一主表面及與所述第一主表面相向的第二主表面的測(cè)定對(duì)象物的溫度進(jìn)行測(cè)量，所述溫度測(cè)量方法包括以下步驟：

向所述測(cè)定對(duì)象物照射輸出光，所述輸出光包括第一波長(zhǎng)范圍及與所述第一波長(zhǎng)范圍不同的第二波長(zhǎng)范圍，所述輸出光透過(guò)所述測(cè)定對(duì)象物；

測(cè)定來(lái)自所述測(cè)定對(duì)象物中的所述第一主表面和所述第二主表面的反射光的光譜；

通過(guò)對(duì)所述光譜進(jìn)行傅立葉變換來(lái)計(jì)算光程比，所述光程比為關(guān)于所述第一波長(zhǎng)范圍的所述輸出光的光程即第一光程與關(guān)于所述第二波長(zhǎng)范圍的所述輸出光的光程即第二光程之比；

基于所述光程比及預(yù)先獲取的折射率比與所述測(cè)定對(duì)象物的溫度之間的關(guān)系來(lái)計(jì)算所述測(cè)定對(duì)象物的溫度，該折射率比為關(guān)于所述第一波長(zhǎng)范圍的所述輸出光的在所述測(cè)定對(duì)象物的折射率即第一折射率與關(guān)于所述第二波長(zhǎng)范圍的所述輸出光的在所述測(cè)定對(duì)象物的折射率即第二折射率之比。