[發明專利]一種晶圓蝕刻切片機

在審

• 申請號: 202011059410.5
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN112171085A
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: 李峰
• 申請（專利權）人: 李峰
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70;B23K26/16
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓蝕刻切片機，其結構包括主體(1)、進料口(2)、控制面板(3)、警報燈(4)，所述主體(1)的前端設有進料口(2)，所述控制面板(3)位于進料口(2)的上端，所述警報燈(4)嵌固在主體(1)的頂端，其特征在于：

所述主體(1)包括裝料框(11)、機械手臂(12)、切割載盤(13)、切割裝置(14)，所述裝料框(11)設置在主體(1)的內部左側，所述機械手臂(12)設置在裝料框(11)的后端，所述切割載盤(13)設于主體(1)的內部右側，所述切割裝置(14)安裝在切割載盤(13)的上端。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓蝕刻切片機，其特征在于：所述切割裝置(14)包括支撐板(141)、激光發射頭(142)、噴淋頭(143)、刷洗裝置(144)，所述支撐板(141)的末端設有激光發射頭(142)，所述噴淋頭(143)安裝在支撐板(141)的中間位置，所述刷洗裝置(144)設置在支撐板(141)的前端，且與噴淋頭(143)相連接。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓蝕刻切片機，其特征在于：所述噴淋頭(143)包括噴頭(a1)、連接桿(a2)、旋轉裝置(a3)、導水片(a4)，所述噴頭(a1)嵌固在噴淋頭(143)的底端，所述連接桿(a2)卡合于噴淋頭(143)的側端，所述旋轉裝置(a3)安裝在噴淋頭(143)的內部正中間，且與連接桿(a2)相連接，所述導水片(a4)嵌固在噴淋頭(143)的內部頂端。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓蝕刻切片機，其特征在于：所述旋轉裝置(a3)包括轉桿(a31)、固定桿(a32)、擋水片(a33)、凸起塊(a34)，所述轉桿(a31)的側端設有固定桿(a32)，所述固定桿(a32)設有八個，且兩兩為一組環繞于轉桿(a31)排列，所述擋水片(a33)設有四個，且嵌固在固定桿(a32)的末端，所述凸起塊(a34)設有兩個，且嵌固在擋水片(a33)的上端面。

5.根據權利要求2所述的一種晶圓蝕刻切片機，其特征在于：所述刷洗裝置(144)包括主柱(b1)、定位桿(b2)、安裝環(b3)、通氣孔(b4)、清洗刷(b5)，所述主柱(b1)的側端設有定位桿(b2)，所述定位桿(b2)設有四個且環繞于主柱(b1)的外表面排列，所述安裝環(b3)安裝在定位桿(b2)的末端，所述通氣孔(b4)設有十個以上，且環繞于安裝環(b3)排列，所述清洗刷(b5)設有十個以上。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓蝕刻切片機，其特征在于：所述清洗刷(b5)包括底座(b51)、滾動座(b52)、毛刷(b53)、回卷彈簧(b54)，所述底座(b51)的中間卡合有滾動座(b52)，所述毛刷(b53)嵌固在底座(b51)的頂部正中間，所述回卷彈簧(b54)嵌固在滾動座(b52)的側端。