[發明專利]一種晶圓蝕刻深孔殘留物清理器

在審

• 申請號: 202011059387.X
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN112247788A
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 李萌
• 申請（專利權）人: 李萌
• 主分類號: B24B27/033
• 分類號: B24B27/033;B24B55/06;B24B41/02;B24B41/06;H01L21/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓蝕刻深孔殘留物清理器，其結構包括底座(1)、升降機(2)、操作臺(3)、旋轉機(4)、清理器(5)，其特征在于：

所述底座(1)頂面與升降機(2)底面焊接連接，所述操作臺(3)右側與升降機(2)左側相疊合在一起，所述旋轉機(4)底面與升降機(2)頂面活動卡合，所述清理器(5)右側與旋轉機(4)左側活動卡合；

所述清理器(5)包括吸力機(51)、收納倉(52)、連接塊(53)、插臺(54)，所述收納倉(52)頂面與吸力機(51)底面固定連接，所述連接塊(53)左側與插臺(54)右側焊接連接，所述收納倉(52)底面與插臺(54)頂面相互接通。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓蝕刻深孔殘留物清理器，其特征在于：所述插臺(54)包括頂塊(541)、旋桿(542)、鎖緊結構(543)、軌道(544)、電源(545)、插殼(546)、拋光頭(547)，所述鎖緊結構(543)通過軌道(544)與頂塊(541)內部連接，所述旋桿(542)中段焊接于鎖緊結構(543)左側，所述電源(545)頂面固定安裝于頂塊(541)底面，所述拋光頭(547)嵌入于插殼(546)末段。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓蝕刻深孔殘留物清理器，其特征在于：所述鎖緊結構(543)包括螺紋桿(A1)、軸承(A2)、夾板(A3)、凸塊(A4)、槽口(A5)，所述螺紋桿(A1)右端通過軸承(A2)與夾板(A3)左側活動卡合，所述凸塊(A4)與夾板(A3)右側為一體化成型，所述槽口(A5)與插殼(546)右側為一體化成型。

4.根據權利要求2所述的一種晶圓蝕刻深孔殘留物清理器，其特征在于：所述拋光頭(547)包括接電纜(B1)、擦環(B2)、導塊(B3)、轉動叉(B4)、磁鐵(B5)，所述接電纜(B1)末端與導塊(B3)頂面電連接，所述導塊(B3)底面通過轉動叉(B4)與擦環(B2)頂面連接，所述磁鐵(B5)固定安裝于導塊(B3)底面。

5.根據權利要求4所述的一種晶圓蝕刻深孔殘留物清理器，其特征在于：所述擦環(B2)包括收集管(B21)、旋轉層(B22)、擦塊(B23)，所述收集管(B21)外環與旋轉層(B22)內環固定連接，所述擦塊(B23)內層與旋轉層(B22)外環焊接連接。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓蝕刻深孔殘留物清理器，其特征在于：所述擦塊(B23)包括外殼(C1)、摩擦層(C2)、摩擦加強輪(C3)、支撐板(C4)、彈簧(C5)、撐板(C6)，所述摩擦層(C2)兩側嵌入于外殼(C1)內部，所述摩擦加強輪(C3)外環通過支撐板(C4)與外殼(C1)內層連接，所述彈簧(C5)頂面固定安裝于撐板(C6)底面，所述撐板(C6)頂面與摩擦加強輪(C3)外環相疊合在一起。

7.根據權利要求6所述的一種晶圓蝕刻深孔殘留物清理器，其特征在于：所述摩擦加強輪(C3)包括彈性殼(C31)、觸碰塊(C32)、凸輪(C33)、連接環(C34)、內軸(C35)，所述彈性殼(C31)內環與觸碰塊(C32)頂面固定連接，所述內軸(C35)外環通過連接環(C34)與凸輪(C33)內環連接。