[發(fā)明專利]噴嘴及基板清洗裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011057856.4
• 申請(qǐng)日: 2020-09-30
• 公開（公告）號(hào): CN112604828A
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中川洋一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社荏原制作所
• 主分類號(hào): B05B1/04
• 分類號(hào): B05B1/04;B05B1/24;B05B7/04;B08B3/02;H01L21/67
• 代理公司: 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 張麗穎

1.一種噴嘴，生成微小氣泡，該噴嘴的特征在于，具備：

中空的殼體；以及

多個(gè)板材，該多個(gè)板材設(shè)置于所述殼體內(nèi)，并將所述殼體內(nèi)劃分為多個(gè)空間，

在所述殼體的上表面或側(cè)面設(shè)置有流入口，該流入口供氣體溶解液流入且與被所述板材劃分出的空間中的最上方的空間連通，

在各所述板材設(shè)置有多個(gè)貫通孔，

在所述殼體的下表面設(shè)置有狹縫，該狹縫與被所述板材劃分出的空間中的最下方的空間連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴，其特征在于，

所述板材是多個(gè)，

在多個(gè)板材中的與第一板材相比設(shè)置于下方的第二板材中，貫通孔的數(shù)量比第一板材的貫通孔的數(shù)量多，及/或貫通孔的大小小于等于第一板材的貫通孔的大小。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴嘴，其特征在于，

具備加熱單元，該加熱單元對(duì)所述殼體或所述氣體溶解液進(jìn)行加熱。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴嘴，其特征在于，

所述加熱單元是設(shè)置于所述殼體的電熱部件。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴嘴，其特征在于，

所述加熱單元是向所述殼體照射紅外線的紅外線照射器。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴嘴，其特征在于，

所述加熱單元是在所述殼體的內(nèi)部流通的規(guī)定溫度以上的介質(zhì)。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴嘴，其特征在于，

所述加熱單元是在所述殼體的表面流通的規(guī)定溫度以上的介質(zhì)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴，其特征在于，

所述狹縫沿所述殼體的長(zhǎng)度方向設(shè)置。

9.一種噴嘴，其特征在于，具備：

頭管，該頭管被供給氣體溶解液；

多個(gè)微小氣泡生成噴嘴，該多個(gè)微小氣泡生成噴嘴通過(guò)從所述頭管供給的氣體溶解液而生成并排出包含微小氣泡的液體；以及

整流單元，該整流單元設(shè)置有狹縫，并且從所述微小氣泡生成噴嘴排出的液體從狹縫排出。

10.一種基板清洗裝置，其特征在于，

具備權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的噴嘴。