[發明專利]成膜裝置、成膜方法及電子器件的制造方法

有效

• 申請號: 202011054211.5
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN112626476B
• 公開（公告）日: 2023-04-28
• 發明（設計）人: 永田透
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24;C23C14/35;C23C14/54
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 鄧宗慶

本發明涉及成膜裝置、成膜方法及電子器件的制造方法。提供用于有效地利用成膜裝置的旋轉接頭所使用的液體的技術。成膜裝置具備被成膜物支承部和旋轉接頭，旋轉接頭具有與被成膜物支承部連接并旋轉的旋轉部和設置于旋轉部的周圍并固定于成膜室的固定部，固定部具有被供給液體的供給口和排出液體的排出口，旋轉部具有將從供給口供給的液體向被成膜物支承部供給的供給流路、將從被成膜物支承部排出的液體向排出口排出的排出流路，按供給口、供給流路、被成膜物支承部、排出流路及排出口的順序構成供液體流動的液體流路，具有：具有將從排出口排出的液體供給到供給口的循環路徑、設置于固定部的排放口以及將從排放口排出的排放液供給到供給口的路徑。

技術領域

本發明涉及成膜裝置、成膜方法及電子器件的制造方法。

背景技術

近年來，作為顯示器的一種，具備有機EL元件的有機EL裝置引人關注，所述有機EL元件使用了有機材料的電致發光。在該有機EL裝置的制造時，有如下工序：在具有成膜室的成膜裝置中，使金屬電極材料或有機材料等成膜材料附著在基板上而進行成膜。

在成膜裝置的成膜室內，通過將收容在容器內的蒸鍍材料加熱或濺射到靶上，從而使成膜材料飛翔并附著于基板而在基板上形成膜。此時，出于形成均勻的膜等目的，有時在成膜室內一邊使基板旋轉一邊進行成膜。另外，在成膜室內成為高溫的情況下，有時預先于在成膜室內支承基板的構件的內部設置供冷卻液進入的空間，通過使冷卻液在該空間與成膜室的外部之間循環，從而使基板冷卻并防止成膜材料的質量劣化。

在專利文獻1(日本特開2006-336034號公報)中，公開了在真空的成膜室內一邊使基板旋轉一邊成膜的裝置。

在該裝置中，以使成膜室的內部與外部貫通的方式配置有旋轉體。在旋轉體的成膜室內部側的端部，設置有在內部形成有流體路徑的基板支架，能夠伴隨著旋轉體的旋轉使基板旋轉。另外，旋轉體配置在成膜室的外部，由相對于成膜室固定的外框構件(框體)支承。在外框構件上設置有冷卻液的供給口和排出口，并與配置在成膜室外部的恒溫槽連接。另外，在外框構件與旋轉體之間，在與供給口和排出口分別對應的位置設置有環狀的流體路徑。

在專利文獻1中，利用這種旋轉接頭結構，從而即使旋轉體旋轉，也能夠進行冷卻液在成膜室外部的恒溫槽與基板支架內部的流體路徑之間的循環。即，從恒溫槽供給到外框構件的供給口的冷卻液經由環狀流體路徑流入旋轉體內部的供給路徑，到達基板支架內的流體路徑。接著，冷卻液從基板支架內的流體路徑流入旋轉體內部的排出路徑，經由環狀流體路徑從外框構件的排出口排出后，再次到達恒溫槽。這樣，由于被溫度調節的冷卻液始終在基板支架內的流體路徑中循環，所以能夠維持成膜優選的基板溫度。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2006-336034號公報

發明內容

發明要解決的課題

但是，在這種成膜裝置中，在進行成膜期間，基本上需要始終使冷卻液循環。結果，存在如下問題：在旋轉接頭中的各構件的連接部分處(特別是從旋轉力起作用的旋轉體與框體之間)，冷卻液會漏出。

即使在旋轉體與框體之間配置磁密封件或O形環等密封構件，也會某種程度地產生該冷卻液的泄漏。在使用氟類惰性液體等比較昂貴的材料作為冷卻液的情況下，由漏出導致的損失會給成本方面帶來較大的影響。

本發明鑒于該課題而做出，其目的在于提供用于有效地利用成膜裝置的旋轉接頭所使用的液體的技術。

用于解決課題的手段

本發明采用以下結構。即，

一種成膜裝置，其在成膜室中對被成膜物進行成膜，所述成膜裝置具備：

被成膜物支承部，所述被成膜物支承部支承被成膜物；以及