[發明專利]一種多晶硅處理用全自動直拉單晶生長爐

在審

• 申請號: 202011054025.1
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN112210821A
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 嚴唐
• 申請（專利權）人: 嚴唐
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及單晶生長爐技術領域，且公開了一種多晶硅處理用全自動直拉單晶生長爐，包括上爐體、下爐體、籽晶軸驅動裝置和支撐板，所述上爐體固定安裝在下爐體的頂部，所述籽晶軸驅動裝置固定安裝在上爐體的頂部。通過液壓缸將液壓桿縮短至最短長度，第二固定座脫離地面，萬向輪與地面接觸，從而可輕松移動支撐板和隔熱板，可非常方便地往坩堝中添加硅原料，且工作人員可從下爐體底部的通孔處進入，對該生長爐進行清理，更加方便快捷，通過彈簧和伸縮桿的設置，可將坩堝震動現象大大消減，從而提高坩堝的穩定性，減少硅在坩堝中的晃動，通過多個通氣孔，可將氮氣從不同的位置同時進入到下爐體的內腔中，可達到快速冷卻的效果。

技術領域

本發明涉及單晶生長爐技術領域，具體為一種多晶硅處理用全自動直拉單晶生長爐。

背景技術

硅單晶生長爐是將多晶硅轉變為單晶硅的專用設備，硅單晶的生長是在真空工作室內將多晶原材料放入坩堝中，通過加熱器將原材料熔化，然后，通過籽晶引導、向上提拉方法生長出理想的硅單晶。在連續向上提拉的硅單晶生長工藝過程中，為了保證硅單晶的穩定快速生長和揮發物的及時排除，整個生長工藝過程中，將工藝氣體(常用高純氬氣)從單晶爐頂部充入，通過真空泵從單晶爐的一側排出。現有的直拉式硅單晶生長爐，由于自身高度的原因以及籽晶軸的妨礙，在往坩堝中投放硅原料時很不方便；對生長爐清理時很麻煩，浪費了大量的工作時間，降低了工作效率。

發明內容

針對現有技術的不足，本發明提供了一種多晶硅處理用全自動直拉單晶生長爐，具備可方便投放硅原料，且清理生長爐時更加方便快捷的優點，解決了現有的直拉式硅單晶生長爐，由于自身高度的原因以及籽晶軸的妨礙，在往坩堝中投放硅原料時很不方便；對生長爐清理時很麻煩，浪費了大量的工作時間，降低了工作效率的問題。

本發明提供如下技術方案：一種多晶硅處理用全自動直拉單晶生長爐，包括上爐體、下爐體、籽晶軸驅動裝置和支撐板，所述上爐體固定安裝在下爐體的頂部，所述籽晶軸驅動裝置固定安裝在上爐體的頂部，所述上爐體和下爐體相連通，所述下爐體的底部設有貫穿的通孔，所述通孔的內部固定安裝有密封圈，所述支撐板位于下爐體的底部，所述支撐板的頂部固定安裝有隔熱板，所述隔熱板穿過下爐體底部的通孔，所述支撐板的頂面可完全封蓋下爐體底部的通孔，所述密封圈的內壁與隔熱板的外表面壓緊連接，所述支撐板的底部固定安裝有液壓缸和第三支撐腿，所述液壓缸的一端固定連接有油缸，所述液壓缸的輸出端活動連接有液壓桿，所述液壓桿的底部固定連接有第二支撐腿，所述第三支撐腿的底部固定安裝有伸縮桿，所述伸縮桿的底部固定連接有萬向輪，所述伸縮桿的外表面活動套接有彈簧，所述支撐板的底部還固定安裝有電機，所述電機的輸出端固定連接有旋轉軸，所述旋轉軸的頂部貫穿支撐板和隔熱板并延伸至隔熱板頂部的上方，所述旋轉軸的頂部固定連接有連接板，所述連接板的頂部固定連接有坩堝，所述下爐體底部的左側和后側均固定安裝有固定限位板，兩個所述固定限位板靠近下爐體底部中心的面固定安裝有滾輪，所述下爐體的左側面和右側面均固定安裝有固定板，所述固定板的底部固定安裝有第一支撐座，位于所述下爐體右側的固定板的頂部固定安裝有立桿，所述立桿的頂部固定安裝有控制器，所述隔熱板的頂部固定安裝有隔熱箱和加熱棒，所述隔熱箱的底面鏤空，所述隔熱箱內腔的側面固定安裝有保溫層，所述加熱棒位于保溫層和坩堝之間，所述隔熱箱的頂部設有開口，所述隔熱箱的內腔和該開口相連通，所述下爐體內腔的左側面和隔熱板的頂部均固定安裝有溫度傳感器，位于所述隔熱板頂部的溫度傳感器在隔熱箱的內部，所述下爐體內腔的右側面固定安裝有壓力傳感器，所述下爐體的頂部固定安裝有氮氣管和抽氣管，所述氮氣管和抽氣管分別位于上爐體的左右兩側，所述氮氣管和抽氣管的底部均貫穿下爐體的頂部并延伸至下爐體的內腔，所述氮氣管的輸入端連接有氮氣罐，位于所述下爐體內腔的氮氣管上設有若干個通氣孔，位于所述下爐體外部的氮氣管上設有電磁閥，所述抽氣管上設有氣泵，所述上爐體的左側固定安裝有輸氣管，所述輸氣管的出氣端貫穿上爐體的左側面并延伸至其內腔，所述籽晶軸驅動裝置內部貫穿設有籽晶軸，所述籽晶軸的底部延伸至上爐體和下爐體的內腔，所述籽晶軸的底部固定安裝有籽晶，所述籽晶位于坩堝的正上方，所述下爐體的正面設有可視窗。