[發明專利]一種多晶硅處理用全自動直拉單晶生長爐

在審

• 申請號: 202011054025.1
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN112210821A
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 嚴唐
• 申請（專利權）人: 嚴唐
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多晶硅處理用全自動直拉單晶生長爐，包括上爐體(1)、下爐體(29)、籽晶軸驅動裝置(21)和支撐板(33)，所述上爐體(1)固定安裝在下爐體(29)的頂部，所述籽晶軸驅動裝置(21)固定安裝在上爐體(1)的頂部，所述上爐體(1)和下爐體(29)相連通，其特征在于：所述下爐體(29)的底部設有貫穿的通孔，所述通孔的內部固定安裝有密封圈(11)，所述支撐板(33)位于下爐體(29)的底部，所述支撐板(33)的頂部固定安裝有隔熱板(32)，所述隔熱板(32)穿過下爐體(29)底部的通孔，所述支撐板(33)的頂面可完全封蓋下爐體(29)底部的通孔，所述密封圈(11)的內壁與隔熱板(32)的外表面壓緊連接，所述支撐板(33)的底部固定安裝有液壓缸(35)和第三支撐腿(34)，所述液壓缸(35)的一端固定連接有油缸，所述液壓缸(35)的輸出端活動連接有液壓桿(36)，所述液壓桿(36)的底部固定連接有第二支撐腿(37)，所述第三支撐腿(34)的底部固定安裝有伸縮桿(16)，所述伸縮桿(16)的底部固定連接有萬向輪(17)，所述伸縮桿(16)的外表面活動套接有彈簧(15)，所述支撐板(33)的底部還固定安裝有電機(14)，所述電機(14)的輸出端固定連接有旋轉軸(10)，所述旋轉軸(10)的頂部貫穿支撐板(33)和隔熱板(32)并延伸至隔熱板(32)頂部的上方，所述旋轉軸(10)的頂部固定連接有連接板(9)，所述連接板(9)的頂部固定連接有坩堝(5)，所述下爐體(29)底部的左側和后側均固定安裝有固定限位板(12)，兩個所述固定限位板(12)靠近下爐體(29)底部中心的面固定安裝有滾輪(13)，所述下爐體(29)的左側面和右側面均固定安裝有固定板(31)，所述固定板(31)的底部固定安裝有第一支撐座(18)，位于所述下爐體(29)右側的固定板(31)的頂部固定安裝有立桿(30)，所述立桿(30)的頂部固定安裝有控制器(28)，所述隔熱板(32)的頂部固定安裝有隔熱箱(8)和加熱棒(6)，所述隔熱箱(8)的底面鏤空，所述隔熱箱(8)內腔的側面固定安裝有保溫層(7)，所述加熱棒(6)位于保溫層(7)和坩堝(5)之間，所述隔熱箱(8)的頂部設有開口，所述隔熱箱(8)的內腔和該開口相連通，所述下爐體(29)內腔的左側面和隔熱板(32)的頂部均固定安裝有溫度傳感器(4)，位于所述隔熱板(32)頂部的溫度傳感器(4)在隔熱箱(8)的內部，所述下爐體(29)內腔的右側面固定安裝有壓力傳感器(26)，所述下爐體(29)的頂部固定安裝有氮氣管(2)和抽氣管(23)，所述氮氣管(2)和抽氣管(23)分別位于上爐體(1)的左右兩側，所述氮氣管(2)和抽氣管(23)的底部均貫穿下爐體(29)的頂部并延伸至下爐體(29)的內腔，所述氮氣管(2)的輸入端連接有氮氣罐，位于所述下爐體(29)內腔的氮氣管(2)上設有若干個通氣孔(25)，位于所述下爐體(29)外部的氮氣管(2)上設有電磁閥(3)，所述抽氣管(23)上設有氣泵(24)，所述上爐體(1)的左側固定安裝有輸氣管(20)，所述輸氣管(20)的出氣端貫穿上爐體(1)的左側面并延伸至其內腔，所述籽晶軸驅動裝置(21)內部貫穿設有籽晶軸(22)，所述籽晶軸(22)的底部延伸至上爐體(1)和下爐體(29)的內腔，所述籽晶軸(22)的底部固定安裝有籽晶(27)，所述籽晶(27)位于坩堝(5)的正上方，所述下爐體(29)的正面設有可視窗(39)。

2.根據權利要求1所述的一種多晶硅處理用全自動直拉單晶生長爐，其特征在于：所述隔熱板(32)的頂部由石棉制成。

3.根據權利要求1所述的一種多晶硅處理用全自動直拉單晶生長爐，其特征在于：所述隔熱板(32)和下爐體(29)底部的通孔均呈圓柱體，所述隔熱板(32)的頂面直徑小于其底面直徑。

4.根據權利要求1所述的一種多晶硅處理用全自動直拉單晶生長爐，其特征在于：所述第二支撐腿(37)的底部固定連接有第二固定座(38)，所述第一支撐座(18)的底部固定連接有第一固定座(19)。

5.根據權利要求1所述的一種多晶硅處理用全自動直拉單晶生長爐，其特征在于：所述氮氣管(2)呈L形，位于所述下爐體(29)內腔的氮氣管(2)呈水平橫向設置。