[發明專利]一種帶通濾光片的制備方法

有效

• 申請號: 202011049791.9
• 申請日: 2020-09-29
• 公開（公告）號: CN112226729B
• 公開（公告）日: 2022-09-09
• 發明（設計）人: 蘇炎;李昱;陳居凱
• 申請（專利權）人: 蘇州眾為光電有限公司
• 主分類號: C23C14/02
• 分類號: C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/58;B08B3/12;G02B5/28
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產權代理有限公司 11369
• 代理人: 孔凡玲

1.一種帶通濾光片的制備方法，其特征在于，包括：

S1、鍍膜前對未鍍膜的空白基片進行拋光處理并超聲波清洗；

S2、在所述基片上鍍膜，并根據鍍膜的膜系對每一膜層進行膜層厚度控制；

其中，鍍膜的膜系的膜系結構包括若干個法布里-帕羅腔及連接層；所述法布里-帕羅腔的結構為：aHLHL2HLHLH、bHLHLHLHL2HLHL3HLHLH、cHLHLHL2HLHLHLH、dHLHL2HLHLA，其中，dHLHL2HLHLA為最后一層法布里-帕羅腔；最后一層法布里-帕羅腔包括連接層；

H為四分之一中心波長光學厚度的高折射率層，L為四分之一中心波長光學厚度的低折射率層；2H為兩個四分之一中心波長光學厚度，A為非四分之一光學厚度的高折射率層；a、b、c、d為每個所述法布里-帕羅腔的第一個高折射率層的四分之一中心波長光學厚度的系數；

所述法布里-帕羅腔的第一個高折射率層的四分之一中心波長光學厚度的系數通過上一個所述法布里-帕羅腔的最后一層的光學厚度優化得出；

所述a、b、c、d為0.974-1.009，所述法布里-帕羅腔的第一個高折射率層的四分之一中心波長光學厚度為0.974-1.009個四分之一波長的光學厚度，以使此層結束時的透過率達到極值；

所述法布里-帕羅腔之間通過所述連接層級聯，所述連接層為非四分之一波長的光學厚度的低折射率層；

所述連接層的光學厚度為0.675-2.450中的非整數個四分之一波長的光學厚度；

S3、鍍膜后進行超聲波清洗；

S4、檢驗得到合格的帶通濾光片。

2.如權利要求1的帶通濾光片的制備方法，其特征在于，所述法布里-帕羅腔的數量為9個。

3.如權利要求1的帶通濾光片的制備方法，其特征在于，所述高折射率層的材料為Ta2O5、Nb2O5、TiO2中的至少之一，所述高折射率層的折射率在1304.5-1317nm的范圍為1.85至2.5。

4.如權利要求1的帶通濾光片的制備方法，其特征在于，所述低折射率層的材料為SiO2、Al2O3、MgF2中的至少之一，所述低折射率層的折射率在1304.5-1317nm的范圍為1.38至1.6。

5.如權利要求1的帶通濾光片的制備方法，其特征在于，所述基片為二氧化硅材料或硅材料基片，基片的折射率在1304.5-1317nm的范圍為1.45至3.5。

6.如權利要求1的帶通濾光片的制備方法，其特征在于，在步驟S2中，所述根據鍍膜的膜系對每一膜層進行膜層厚度控制，包括：所述每個所述法布里-帕羅腔的第一層在鍍膜監控中采用極值法監控，以便接下來的每一層四分之一波長的光學厚度的膜層都可以采用極值法監控。

7.如權利要求1的帶通濾光片的制備方法，其特征在于，在步驟S2中，所述根據鍍膜的膜系對每一膜層進行膜層厚度控制，包括：所述連接層采用晶控/時間的控制方法進行監控。