[發(fā)明專利]同時(shí)監(jiān)測(cè)多種照明條件的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011047267.8
• 申請(qǐng)日: 2020-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114326313A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪恒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤;高翠花

1.一種同時(shí)監(jiān)測(cè)多種照明條件的方法，其特征在于，采用同一掩膜圖形作為掩膜，在不同的照明條件下，對(duì)同一晶圓的不同區(qū)域進(jìn)行曝光，獲得多個(gè)圖案。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同時(shí)監(jiān)測(cè)多種照明條件的方法，其特征在于，所述照明條件為在所述晶圓上形成的光斑。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的同時(shí)監(jiān)測(cè)多種照明條件的方法，其特征在于，不同的所述照明條件設(shè)置為，所述光斑的形狀和/或大小不同。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的同時(shí)監(jiān)測(cè)多種照明條件的方法，其特征在于，以預(yù)設(shè)照明條件為基準(zhǔn)，微調(diào)照明條件的參數(shù)，獲得多個(gè)照明條件，以使形成的所述光斑的形狀被微調(diào)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同時(shí)監(jiān)測(cè)多種照明條件的方法，其特征在于，所述晶圓為裸片晶圓。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同時(shí)監(jiān)測(cè)多種照明條件的方法，其特征在于，所述晶圓為具有預(yù)設(shè)圖案的晶圓，所述晶圓的不同區(qū)域包括晶圓具有預(yù)設(shè)圖案的區(qū)域和/或不具有預(yù)設(shè)圖案的區(qū)域。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同時(shí)監(jiān)測(cè)多種照明條件的方法，其特征在于，在所述晶圓上，被曝光的區(qū)域相鄰設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同時(shí)監(jiān)測(cè)多種照明條件的方法，其特征在于，在所述晶圓上，被曝光的區(qū)域間隔設(shè)置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同時(shí)監(jiān)測(cè)多種照明條件的方法，其特征在于，在所述晶圓上，被曝光的區(qū)域無(wú)序設(shè)置。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同時(shí)監(jiān)測(cè)多種照明條件的方法，其特征在于，所述方法還包括：預(yù)先設(shè)置形成所述照明條件的照明參數(shù)，在曝光步驟中自動(dòng)按照預(yù)設(shè)的照明參數(shù)執(zhí)行。