[發明專利]一種新型硅片承載花籃在審
申請號: | 202011036249.X | 申請日: | 2020-09-27 |
公開(公告)號: | CN112309928A | 公開(公告)日: | 2021-02-02 |
發明(設計)人: | 周祥磊;趙東旭;李海波;李靜;陶龍忠;楊灼堅 | 申請(專利權)人: | 江蘇潤陽悅達光伏科技有限公司 |
主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L31/18 |
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摘要: | |||
搜索關鍵詞: | 一種 新型 硅片 承載 花籃 | ||
本發明提供一種新型硅片承載花籃,包括支架面板和花籃桿,所述花籃桿為中空柱狀,成組對稱的固定于兩塊所述支架面板中間,兩塊所述支架面板之間還設置有底桿,位于所述花籃桿的下方,所述底桿是橫截面為U形的長槽管,所述底桿的U型槽口朝下,所述花籃桿和底桿的外壁涂覆有一層納米膜。本發明解決花籃帶水的設計,結構合理,操作簡單可控,利用底桿U型結構,且內壁不噴涂納米氟使底桿U型處不吸水,解決現有花籃攜帶殘液的問題,緩解后續烘干槽時間長、產能少的壓力,在縮減烘干時間的情況下,還可提高電池片的A級品率,在太陽能電池領域具有廣闊的應用前景。
技術領域
本發明屬于太陽能電池領域,尤其涉及一種新型硅片承載花籃。
背景技術
在晶硅太陽電池生產中,濕法技術是不可或缺的工藝流程,如切割后的硅片表面清洗損傷層、電池預清洗與制絨、刻蝕與拋光等工序都會用到濕法處理工藝。由于槽式濕法處理過程中需要把大量脆性硅片均勻分開、逐一浸入各個反應槽中進行定時定量的化學反應,因此需要適當器具將硅片均勻分層放置,濕法花籃目前作為該步驟最重要工裝治具,當從槽體中提起后,花籃底部極易攜帶殘液,主要在底桿的底部中心殘留液體,該液滴一般呈酸性、堿性或中性,在后續烘干槽內會破壞花籃內的硅片正面PN結,以及對背面進行污染,形成黑斑黑點,影響電池片的A級良品率。
發明內容
鑒于以上,本發明提供一種新型硅片承載花籃,通過將花籃底桿設計成U型槽管結構,并對花籃桿和底桿的外壁涂覆有一層納米膜,優化解決了花籃攜帶殘液的問題,提高了電池片的良品率。
本發明具體技術方案如下:
一種新型硅片承載花籃,包括支架面板和花籃桿,其特征在于,所述花籃桿為中空柱狀,成組對稱的固定于兩塊所述支架面板中間,兩塊所述支架面板之間還設置有底桿,位于所述花籃桿的下方,所述底桿是橫截面為U形的長槽管,所述底桿的U型槽口朝下,所述花籃桿和底桿的外壁涂覆有一層納米膜。
進一步,所述花籃桿外壁上規則的排列有凸出的花籃齒。
進一步,所述花籃桿內部嵌入有碳纖棒。
進一步,所述納米膜為納米氟材料。
本發明附加的方面和優點將在下面的描述中進一步給出,部分將從下面的描述中變得明顯,或通過本發明的實踐了解到。
附圖說明
圖1為本發明新型硅片承載花籃的結構示意圖;
圖2為本發明新型硅片承載花籃的底桿沿A-A方向的截面示意圖;
其中,1-支架面板,2-花籃桿,3-底桿,4-花籃齒。
具體實施方式
下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的,僅用于解釋本發明,而不能解釋為對本發明的限制。
參照圖1,新型硅片承載花籃的一種實施例,包括支架面板1和花籃桿2,花籃桿2為中空柱狀,成組對稱的固定于兩塊支架面板1中間,兩塊支架面板1之間還設置有底桿3,位于花籃桿2的下方,底桿3是橫截面為U形的長槽管,如圖2所示,底桿3的U型槽口朝下,且底桿3的外壁涂覆一層納米氟膜,U型槽內壁不涂,以此解決現有技術中花籃底桿中間遺留殘液的問題。
優選的,本實施例中花籃桿2外壁也涂覆有一層納米氟膜,避免花籃桿上的殘液流至硅片上,且有利于后續烘干槽快速烘干。
進一步,花籃桿2外壁上規則的排列有凸出的花籃齒4,用于鉤掛硅片。
進一步,花籃桿2內部嵌入有碳纖棒,可增加花籃的使用壽命。
進一步,花籃桿采用PVDF材料,耐酸堿、疏水性好。
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H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造