[發(fā)明專利]一種激光直寫能量校正方法及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011036034.8
• 申請(qǐng)日: 2020-09-27
• 公開（公告）號(hào): CN112286008B
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳國(guó)軍;吳景舟;馬迪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇迪盛智能科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種激光直寫能量校正方法，其特征在于，包括：采用間隔采樣的方式獲取經(jīng)微鏡陣列反射后激光光束在探測(cè)器上形成的圖像；間隔采樣的方式指的是，每次間隔采樣時(shí)，相鄰兩個(gè)處于正常工作狀態(tài)的微鏡之間間隔至少一個(gè)不工作的微鏡；

根據(jù)所述圖像獲取所述微鏡陣列中至少部分區(qū)域中微鏡的亮度值；

根據(jù)所述至少部分區(qū)域中微鏡的亮度值獲取掃描方向上每一列所述微鏡的亮度積分值；

根據(jù)每一列所述微鏡的亮度積分值對(duì)所述微鏡陣列進(jìn)行能量校正。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在采用間隔采樣的方式獲取經(jīng)微鏡陣列反射后激光光束在探測(cè)器上形成的圖像之前，還包括：

控制所述探測(cè)器的曝光時(shí)間小于預(yù)設(shè)曝光時(shí)間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，采用間隔采樣的方式獲取經(jīng)微鏡陣列反射后激光光束在探測(cè)器上形成的圖像，根據(jù)所述圖像獲取所述微鏡陣列中至少部分區(qū)域中微鏡的亮度值，包括：

采用間隔采樣的方式獲取激光光束在探測(cè)器上形成的采樣圖像；

根據(jù)所述采樣圖像獲取所述采樣圖像對(duì)應(yīng)微鏡的亮度值；

將多次間隔采樣后所述采樣圖像對(duì)應(yīng)微鏡的亮度值拼接為所述微鏡陣列中至少部分區(qū)域中微鏡的亮度值。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，采用間隔采樣的方式獲取經(jīng)微鏡陣列反射后激光光束在探測(cè)器上形成的圖像，根據(jù)所述圖像獲取所述微鏡陣列中至少部分區(qū)域中微鏡的亮度值，包括：

采用間隔采樣的方式獲取激光光束在探測(cè)器上形成的采樣圖像；

將多個(gè)所述采樣圖像拼接為經(jīng)所述微鏡陣列反射后激光光束在探測(cè)器上形成的圖像；

根據(jù)所述圖像獲取所述微鏡陣列中至少部分區(qū)域中微鏡的亮度值。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或者4所述的方法，其特征在于，間隔采樣時(shí)，相鄰兩個(gè)處于正常工作狀態(tài)的微鏡之間間隔N個(gè)不工作的微鏡，進(jìn)行(N+1)²次間隔采樣，N≥1。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，根據(jù)每一列所述微鏡的亮度積分值對(duì)所述微鏡陣列進(jìn)行能量校正，包括：

獲取所述亮度積分值中的最小值；

若一列所述微鏡的所述亮度積分值大于所述最小值，則選取一列所述微鏡中的第一部分微鏡，使一列所述微鏡中除第一部分微鏡外的所有微鏡的亮度積分值與所述最小值之間的差值小于預(yù)設(shè)差值；

在激光直寫光刻時(shí)，控制所述第一部分微鏡始終不工作，一列所述微鏡中除第一部分微鏡外的所有微鏡處于正常工作狀態(tài)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在采用間隔采樣的方式獲取經(jīng)微鏡陣列反射后激光光束在探測(cè)器上形成的圖像之前，還包括：

在所述微鏡陣列與所述探測(cè)器之間的光路上設(shè)置亮度衰減片，所述亮度衰減片用于降低探測(cè)器接收到的激光光束的光亮度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，多個(gè)所述微鏡行列排布為矩陣，多個(gè)所述微鏡的矩陣列方向平行于所述掃描方向。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，多個(gè)所述微鏡行列排布為矩陣，多個(gè)所述微鏡的矩陣列方向與所述掃描方向之間的夾角大于0°且小于90°。

10.一種激光直寫能量校正裝置，其特征在于，包括：

激光器，發(fā)射激光光束；

微鏡陣列，包括陣列排布的多個(gè)微鏡，反射所述激光光束；

探測(cè)器；

控制器，采用間隔采樣的方式獲取經(jīng)所述微鏡陣列反射后激光光束在探測(cè)器上形成的圖像，根據(jù)所述圖像獲取所述微鏡陣列中至少部分區(qū)域中微鏡的亮度值，根據(jù)所述至少部分區(qū)域中微鏡的亮度值獲取掃描方向上每一列所述微鏡的亮度積分值，根據(jù)每一列所述微鏡的亮度積分值對(duì)所述微鏡陣列進(jìn)行能量校正；

其中，間隔采樣的方式指的是，每次間隔采樣時(shí)，相鄰兩個(gè)處于正常工作狀態(tài)的微鏡之間間隔至少一個(gè)不工作的微鏡。