[發(fā)明專利]傳送機(jī)械手

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011029670.8
• 申請(qǐng)日: 2020-09-27
• 公開（公告）號(hào): CN112185878A
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L21/677
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 李文麗

1.一種傳送機(jī)械手，其特征在于，包括：

基體，包括用于支撐晶圓的支撐部；

電源；

靜電發(fā)生裝置，包括正電荷端頭和電子端頭，所述正電荷端頭和所述電子端頭均設(shè)于所述支撐部，所述電源用于向所述正電荷端頭和所述電子端頭供電，以使所述正電荷端頭產(chǎn)生正電荷，所述電子端頭產(chǎn)生電子。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳送機(jī)械手，其特征在于，所述支撐部設(shè)有晶圓接觸器，所述晶圓接觸器凸出于所述支撐部的表面，所述晶圓接觸器的底部設(shè)有壓力傳感器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳送機(jī)械手，其特征在于，還包括中央處理器，所述電源和所述壓力傳感器均連接于所述中央處理器，所述中央處理器內(nèi)存儲(chǔ)有所述靜電發(fā)生裝置的輸入電壓與所述壓力傳感器的輸出電壓之間的關(guān)系模型。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳送機(jī)械手，其特征在于，所述晶圓接觸器在所述支撐部上均勻分布多個(gè)，每個(gè)所述晶圓接觸器的底部均設(shè)有所述壓力傳感器。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳送機(jī)械手，其特征在于，所述壓力傳感器為壓電陶瓷傳感器。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳送機(jī)械手，其特征在于，所述晶圓接觸器與所述正電荷端頭交替設(shè)置，和/或，所述晶圓接觸器與所述電子端頭交替設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的傳送機(jī)械手，其特征在于，所述基體構(gòu)造出走線槽，連接所述電源與所述正電荷端頭的第一導(dǎo)線以及連接所述電源與所述電子端頭的第二導(dǎo)線均設(shè)于所述走線槽內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳送機(jī)械手，其特征在于，當(dāng)所述支撐部設(shè)有晶圓接觸器，所述晶圓接觸器的底部設(shè)有壓力傳感器，所述壓力傳感器設(shè)于所述走線槽內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳送機(jī)械手，其特征在于，所述基體上連接有接線分配器，所述接線分配器設(shè)于所述走線槽靠近所述電源的一端。

10.根據(jù)權(quán)利要求7述的傳送機(jī)械手，其特征在于，所述走線槽為所述基體內(nèi)的中空腔室。