[發明專利]MEMS致動系統

在審

• 申請號: 202011026391.6
• 申請日: 2020-09-25
• 公開（公告）號: CN114326005A
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 王桂芹;劉曉蕾
• 申請（專利權）人: 麥斯卓有限公司
• 主分類號: G02B7/09
• 分類號: G02B7/09;G03B13/36;G03B5/00;G02B7/02
• 代理公司: 北京高文律師事務所 11359
• 代理人: 王冬;韓威威

本發明公開了一種多軸MEMS組件。該多軸MEMS組件包括被配置為提供三軸直線移動的微機電系統(MEMS)致動器以及連接到該微機電系統(MEMS)致動器的光電器件。該微機電系統(MEMS)致動器包括：平面內MEMS致動器和包括多形態壓電致動器的平面外MEMS致動器；以及連接到該平面外MEMS致動器的鏡筒組件。

本申請要求2018年9月26日提交的第62/736,913號美國臨時申請的權益，其內容通過引用并入本申請。

技術領域

本公開總體涉及致動器，更具體地，涉及配置用于相機封裝內的小型化MEMS致動器。

背景技術

如本領域所公知的，致動器可用于將電子信號轉換成機械運動。在諸如便攜式設備、成像相關設備、電信組件和醫療儀器的許多應用中，將微型致動器適配在尺寸小、功率低和成本有限的這些應用內可以是有益的。

微機電系統(MEMS)技術在其最通常形式中可以被定義為使用微加工技術制造的小型化機械和機電元件的技術。MEMS器件的關鍵尺寸可以從遠低于1微米變化到幾毫米。通常，MEMS致動器比傳統致動器更緊湊，并且它們消耗更少的功率。

發明內容

在一個實施方式中，提供了一種多軸MEMS組件，包括：被配置為提供三軸直線移動的微機電系統(MEMS)致動器，該微機電系統(MEMS)致動器包括：平面內MEMS致動器，和包括多形態壓電致動器的平面外MEMS致動器；連接到平面內MEMS致動器的光電器件；以及連接到平面外MEMS致動器的鏡筒組件。

以下特征的一個或多個可以被包括。鏡筒組件可以包括多個分立的鏡頭。該平面內MEMS致動器可以為圖像穩定致動器。該平面內MEMS致動器可以被配置為提供X軸直線移動和Y軸直線移動。該平面內MEMS致動器可以被進一步配置為提供Z軸旋轉移動。該平面外MEMS致動器可以為自動對焦致動器。該平面外MEMS致動器可以被配置為提供Z軸直線移動。多形態壓電器可以包括彎曲壓電致動器。多形態壓電致動器可以包括被配置為貼附于鏡筒組件的可移動臺。所述多形態壓電致動器可以進一步包括剛性框架組件。所述多形態壓電致動器可以進一步包括被配置為將可移動臺連接到剛性框架組件的至少一個可變形壓電部分。該平面外MEMS致動器的多形態壓電致動器的剛性框架組件可以被配置為連接至支撐組件。

在另一個實施方式中，提供了一種多軸MEMS組件，包括：被配置為提供三軸直線移動的微機電系統(MEMS)致動器，該微機電系統(MEMS)致動器包括：平面內MEMS致動器，和包括多形態壓電致動器的平面外MEMS致動器；連接到平面內MEMS致動器的光電器件；以及連接到平面外MEMS致動器的鏡筒組件；其中平面內MEMS致動器是圖像穩定致動器，平面外MEMS致動器是自動對焦致動器。

以下特征的一個或多個可以被包括。該平面內MEMS致動器可以被配置為提供X軸直線移動和Y軸直線移動。該平面內MEMS致動器可以被進一步配置為提供Z軸旋轉移動。該平面外MEMS致動器可以為自動對焦致動器。該平面外MEMS致動器可以被配置為提供Z軸直線移動。

在另一個實施方式中，提供了一種多軸MEMS組件，包括：被配置為提供三軸直線移動的微機電系統(MEMS)致動器，該微機電系統(MEMS)致動器包括：平面內MEMS致動器，和包括多形態壓電致動器的平面外MEMS致動器；連接到平面內MEMS致動器的光電器件；以及連接到平面外MEMS致動器的鏡筒組件；其中多形態壓電致動器包括：被配置為貼附于鏡筒組件的可移動臺，剛性框架組件，和被配置為將可移動臺連接到剛性框架組件的至少一個可變形壓電部分。

以下特征的一個或多個可以被包括。該平面外MEMS致動器的多形態壓電致動器的剛性框架組件可以被配置為連接至支撐組件。

在以下附圖和說明書中描述一個或多個實施方式的細節。根據說明書、附圖和權利要求書，其它特征和優點將變得顯而易見。

附圖說明

圖1為根據本公開的各種實施例的MEMS封裝的透視圖；