[發明專利]MEMS致動系統在審
| 申請號： | 202011026391.6 | 申請日： | 2020-09-25 |
| 公開（公告）號： | CN114326005A | 公開（公告）日： | 2022-04-12 |
| 發明（設計）人： | 王桂芹;劉曉蕾 | 申請（專利權）人： | 麥斯卓有限公司 |
| 主分類號： | G02B7/09 | 分類號： | G02B7/09;G03B13/36;G03B5/00;G02B7/02 |
| 代理公司： | 北京高文律師事務所 11359 | 代理人： | 王冬;韓威威 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 系統 | ||
1.一種多軸MEMS組件，包括：
被配置為提供三軸直線移動的微機電系統(MEMS)致動器，所述微機電系統(MEMS)致動器包括：
平面內MEMS致動器，和
包括多形態壓電致動器的平面外MEMS致動器；
連接到所述平面內MEMS致動器的光電器件；以及
連接到所述平面外MEMS致動器的鏡筒組件。
2.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中所述鏡筒組件包括多個分立透鏡。
3.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中所述平面內MEMS致動器為圖像穩定致動器。
4.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中所述平面內MEMS致動器被配置為提供X軸直線移動和Y軸直線移動。
5.根據權利要求4所述的多軸MEMS組件，其中所述平面內MEMS致動器被進一步配置為提供Z軸旋轉移動。
6.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中所述平面外MEMS致動器為自動對焦致動器。
7.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中所述平面外MEMS致動器被配置為提供Z軸直線移動。
8.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中所述多形態壓電致動器包括彎曲壓電致動器。
9.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中所述多形態壓電致動器包括：被配置為貼附于所述鏡筒組件的可移動臺。
10.根據權利要求9所述的多軸MEMS組件，其中所述多形態壓電致動器進一步包括：剛性框架組件。
11.根據權利要求10所述的多軸MEMS組件，其中所述多形態壓電致動器進一步包括：被配置為將所述可移動臺連接到所述剛性框架組件的至少一個可變形壓電部分。
12.根據權利要求10所述的多軸MEMS組件，其中所述平面外MEMS致動器的所述多形態壓電致動器的所述剛性框架組件被配置為連接至支撐組件。
13.一種多軸MEMS組件，包括：
被配置為提供三軸直線移動的微機電系統(MEMS)致動器，所述微機電系統(MEMS)致動器包括：
平面內MEMS致動器，和
包括多形態壓電致動器的平面外MEMS致動器；
連接到所述平面內MEMS致動器的光電器件；以及
連接到所述平面外MEMS致動器的鏡筒組件；
其中所述平面內MEMS致動器是圖像穩定致動器并且所述平面外MEMS致動器是自動對焦致動器。
14.根據權利要求13所述的多軸MEMS組件，其中所述平面內MEMS致動器被配置為提供X軸直線移動和Y軸直線移動。
15.根據權利要求14所述的多軸MEMS組件，其中所述平面內MEMS致動器被進一步配置為提供Z軸旋轉移動。
16.根據權利要求13所述的多軸MEMS組件，其中所述平面外MEMS致動器被配置為提供Z軸直線移動。
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