[發明專利]靜電卡盤裝置及半導體工藝設備

在審

• 申請號: 202011024818.9
• 申請日: 2020-09-25
• 公開（公告）號: CN112133664A
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 光娟亮;申愛科;戎艷天
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01J37/32
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 施敬勃

1.一種靜電卡盤裝置，其特征在于，包括基部(100)、覆蓋體(200)和至少一個絕緣單體(300)，所述基部(100)具有承載面，所述覆蓋體(200)具有相背設置的第一表面和第二表面，所述覆蓋體(200)通過所述第一表面覆設于所述承載面，所述覆蓋體(200)開設有至少一個貫通所述第一表面和所述第二表面的安裝空間(210)；

每個所述絕緣單體(300)均單獨設置于一個所述安裝空間(210)內，且每個所述絕緣單體(300)用于單獨支撐待加工件(700)；每個所述絕緣單體(300)均內置有電極部(310)，所述電極部(310)用于與供電電源電連接。

2.根據權利要求1所述的靜電卡盤裝置，其特征在于，所述絕緣單體(300)可拆卸地設置于所述安裝空間(210)。

3.根據權利要求2所述的靜電卡盤裝置，其特征在于，所述絕緣單體(300)在所述安裝空間(210)內與所述覆蓋體(200)螺紋配合。

4.根據權利要求1所述的靜電卡盤裝置，其特征在于，在所述靜電卡盤裝置的高度方向上，所述第二表面的位置不高于所述待加工件(700)的上表面。

5.根據權利要求1所述的靜電卡盤裝置，其特征在于，每個所述絕緣單體(300)設有其貫穿頂面和底面的通氣道，所述基部(100)對應每個所述絕緣單體(300)均設置有充氣道；

每個所述絕緣單體(300)和所述基部(100)之間均設有密封圈(800)，且每個所述絕緣單體(300)的通氣道的進氣口和與其對應的所述基部(100)的充氣道的出氣口均位于所述密封圈(800)圍繞的區域內。

6.根據權利要求1所述的靜電卡盤裝置，其特征在于，所述供電電源通過饋電組件與所述電極部(310)電連接；所述饋電組件嵌設于所述基部(100)，每個所述電極部(310)上均設置有第一外延部(320)，所述第一外延部(320)的一端與所述電極部(310)電連接，所述第一外延部(320)的另一端延伸至所述絕緣單體(300)之外，并與所述饋電組件電連接。

7.根據權利要求6所述的靜電卡盤裝置，其特征在于，所述供電電源通過第一饋線(510)與所述饋電組件電連接，且所述饋電組件還通過第二饋線(520)與射頻電源電連接。

8.根據權利要求7所述的靜電卡盤裝置，其特征在于，所述第一饋線(510)和所述第二饋線(520)并聯后與所述饋電組件電連接；且所述第一饋線(510)上設置有電感器件(511)和濾波器件(512)，所述第二饋線(520)上設置有隔直電容器件(521)。

9.根據權利要求6至8中任一項所述的靜電卡盤裝置，其特征在于，所述饋電組件包括多條饋電支線(410)，每條所述饋電支線(410)均設置有一個饋電模組(420)，所述饋電模組(420)均嵌設于所述基部(100)，每個所述饋電模組(420)與至少一個所述第一外延部(320)電連接。

10.根據權利要求9所述的靜電卡盤裝置，其特征在于，所述饋電模組(420)包括饋電棒(421)、轉接件(422)、彈性件(423)和支撐導電元件(424)，所述饋電棒(421)朝向所述絕緣單體(300)的端部設置有導向空間(421a)，所述轉接件(422)可伸縮地設置于所述導向空間(421a)內，所述彈性件(423)的一端與所述饋電棒(421)相連，所述彈性件(423)的另一端與所述轉接件(422)相連；所述轉接件(422)具有第二外延部(422a)，所述第二外延部(422a)通過支撐導電元件(424)與所述導向空間(421a)的內側壁相配合，且所述支撐導電元件(424)的電阻小于所述彈性件(423)的電阻。