[發(fā)明專利]一種基于硒化銀量子點的柔性光電探測器及制作方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011023098.4
• 申請日: 2020-09-25
• 公開（公告）號: CN112133778A
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 唐路平;郭迎慶;王皖君
• 申請（專利權(quán)）人: 南京林業(yè)大學(xué)
• 主分類號: H01L31/0352
• 分類號: H01L31/0352;H01L31/032;H01L31/0392;H01L31/109;H01L31/18
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 田凌濤

本發(fā)明涉及一種基于硒化銀量子點的柔性光電探測器，引入無毒的硒化銀量子點代替鉛鹽量子點作為光吸收材料，可實現(xiàn)探測器的無鉛化和無毒化，并結(jié)合柔性基板設(shè)計，獲得無毒柔性光電探測器設(shè)計；此外進一步針對柔性基板（1）與硒化銀量子點層（2）之間區(qū)域，加入具有高電子遷移率的石墨烯或二硫化鉬作為電荷提取材料設(shè)計，可增加光電探測器的響應(yīng)度，進一步獲得高響應(yīng)度的柔性光電探測器；使其更適合應(yīng)用于可穿戴設(shè)備，能夠有效提高可穿戴設(shè)備的使用安全性與穩(wěn)定性；本發(fā)明還設(shè)計了針對此光電探測器的制作方法，針對所設(shè)計光電探測器結(jié)構(gòu)，通過多種工藝的協(xié)同，設(shè)計全新制作方式，能夠提高設(shè)計光電探測器制作的工藝標(biāo)準(zhǔn)，保證光電探測器的安全性與穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種基于硒化銀量子點的柔性光電探測器及制作方法，屬于半導(dǎo)體光電子器件技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

光電探測器是用于進行光電探測的傳感器，隨著智能設(shè)備的普及，柔性光電探測器可廣泛應(yīng)用于可穿戴設(shè)備，受益于量子限域效應(yīng)，半導(dǎo)體量子點作為光吸收材料展現(xiàn)出了多種優(yōu)越的性能，例如吸收波長隨尺寸可調(diào)和吸收系數(shù)大等；然而目前光電探測器中常用的光吸收量子點為含有有毒重金屬鉛的硫化鉛和硒化鉛量子點，這就限制了現(xiàn)有光電探測器在可穿戴設(shè)備方面的應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種基于硒化銀量子點的柔性光電探測器，引入無毒的硒化銀量子點，結(jié)合柔性基板設(shè)計，獲得無毒、高響應(yīng)度的柔性光電探測器，能夠有效提高可穿戴設(shè)備的使用安全性與穩(wěn)定性。

本發(fā)明為了解決上述技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案：本發(fā)明設(shè)計了一種基于硒化銀量子點的柔性光電探測器，應(yīng)用于人體穿戴設(shè)備中，實現(xiàn)光電檢測，所述柔性光電探測器包括柔性基板、硒化銀量子點層、以及兩根電極；其中，硒化銀量子點層固定覆蓋設(shè)置于柔性基板的上表面，硒化銀量子點層用于實現(xiàn)光吸收；兩根電極分別穿過硒化銀量子點層、并設(shè)置于柔性基板的上表面，硒化銀量子點層與兩根電極相對接，各根電極上的底端分別與柔性基板上表面固定對接，兩根電極之間保持預(yù)設(shè)間距，各根電極頂端的高度均不低于硒化銀量子點層上表面高度。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案：還包括位于所述柔性基板與所述硒化銀量子點層之間的石墨烯層，石墨烯層固定覆蓋設(shè)置于柔性基板的上表面，硒化銀量子點層固定覆蓋設(shè)置于硒化銀量子點層的上表面，所述兩根電極分別依次穿過硒化銀量子點層與石墨烯層、并設(shè)置于柔性基板的上表面，石墨烯層與硒化銀量子點層分別均與兩根電極相對接。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案：還包括位于所述柔性基板與所述硒化銀量子點層之間的二硫化鉬層，二硫化鉬層固定覆蓋設(shè)置于柔性基板的上表面，硒化銀量子點層固定覆蓋設(shè)置于硒化銀量子點層的上表面，所述兩根電極分別依次穿過硒化銀量子點層與二硫化鉬層、并設(shè)置于柔性基板的上表面，二硫化鉬層與硒化銀量子點層分別均與兩根電極相對接。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案：所述兩根電極底端分別與所述柔性基板上表面相對接的位置，分別位于柔性基板上表面彼此相對的兩側(cè)邊緣位置。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案：所述柔性基板為聚乙烯對苯二甲酸酯基板。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案：所述兩根電極均為金電極。

與上述相對應(yīng)，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種基于硒化銀量子點的柔性光電探測器的制作方法，針對所設(shè)計光電探測器結(jié)構(gòu)，通過多種工藝的協(xié)同，設(shè)計全新制作方式，能夠提高設(shè)計光電探測器制作的工藝標(biāo)準(zhǔn)，保證光電探測器的穩(wěn)定性。

本發(fā)明為了解決上述技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案：本發(fā)明設(shè)計了一種基于硒化銀量子點的柔性光電探測器的制作方法，包括如下步驟：

步驟A. 應(yīng)用高溫?zé)岱纸夥ㄖ苽湮y量子點，然后進入步驟B；

步驟B. 在柔性基板上表面制備兩根電極，然后進入步驟C；