[發明專利]一種用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設備和方法

在審

• 申請號: 202011021503.9
• 申請日: 2020-09-25
• 公開（公告）號: CN112192324A
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發明（設計）人: 柴旭;王宜豹;蓋志剛;姜辛;郭風祥;張妹;陳志剛;王韶琰;孫小玲;胡鼎;劉壽生;張麗麗
• 申請（專利權）人: 山東省科學院海洋儀器儀表研究所
• 主分類號: B24B1/00
• 分類號: B24B1/00;B24B27/033;B24B29/02;B24C1/08
• 代理公司: 青島華慧澤專利代理事務所(普通合伙) 37247
• 代理人: 馬千會

1.一種用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設備，其特征在于：包括拋光裝置、化學處理裝置和樣品轉移裝置；所述拋光裝置主要由傳送帶、拋光棒和樣品固定裝置組成，所述樣品固定裝置和拋光棒設置在所述傳送帶上方。

2.根據權利要求1所述的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設備，其特征在于：所述的拋光棒與液壓裝置連接，通過液壓裝置控制其拋光壓力。

3.根據權利要求1所述的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設備，其特征在于：所述化學處理裝置包括多個處理容器；所述處理容器內盛裝化學試劑。

4.根據權利要求1所述的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設備，其特征在于：還包括噴砂裝置，所述噴砂裝置用于對化學處理后的樣品表面進行噴砂處理。

5.根據權利要求1-4任一項所述的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設備，其特征在于：所述的樣品轉移裝置包括樣品托盤及電動導軌；所述樣品托盤與電動導軌連接，在電動導軌的帶動下，將樣品送入不同的處理容器內進行處理。

6.根據權利要求1-4任一項所述的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設備，其特征在于：所述的樣品轉移裝置還包括機械臂，所述機械臂用于在拋光裝置、化學處理裝置、噴砂裝置之間轉移樣品。

7.一種對硼摻雜金剛石基底表面處理的方法，其特征在于，包括：

將基底鈮片進行拋光處理；

將拋光處理后的鈮片進行化學處理；

將化學處理完的鈮片進行噴砂處理。

8.根據權利要求8所述的對硼摻雜金剛石基底表面處理的方法，其特征在于，所述的化學處理包括：

采用氫氟酸：鹽酸：水 =1：5：1對鈮片進行酸處理3min～15min；

將酸處理后的鈮片放入超純水中清洗5～10分鐘；

將清洗完的鈮片放入酒精溶液中處理5～10分鐘。

9.根據權利要求7或8所述的對硼摻雜金剛石基底表面處理的方法，其特征在于，所述的噴砂處理包括：采用300～500目剛玉，噴嘴角度30～45°，噴砂時間2～5min/cm²。

10.根據權利要求9所述的對硼摻雜金剛石基底表面處理的方法，其特征在于：對回收的基底鈮片拋光之前先進行高溫處理：馬弗爐，大氣條件下，600～800℃，處理時間30min～60min。