[發明專利]基板處理裝置

有效

• 申請號: 202011019558.6
• 申請日: 2020-09-24
• 公開（公告）號: CN112570331B
• 公開（公告）日: 2023-01-17
• 發明（設計）人: 內田雄三;菊本憲幸;河原啟之
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: B08B1/02
• 分類號: B08B1/02;B08B1/00;B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 向勇;宋曉寶

本發明提供一種基板處理裝置，對基板進行清洗處理，所述基板處理裝置包括：分度器區，具有分度器機械手；處理區，作為處理單元，具有表面清洗單元以及背面清洗單元；以及翻轉路徑區，具有載置基板的多層擱板，并且具有翻轉功能，所述分度器機械手具有導軌、基臺部、多關節臂以及手部，所述導軌配置于不與所述翻轉路徑區中的基板的載置位置重疊的位置。

技術領域

本發明涉及基板處理裝置，利用處理液對半導體晶片、液晶顯示器、有機電致發光(Electroluminescence，EL)顯示裝置用基板、光掩模用玻璃基板、光盤用基板、磁盤用基板、陶瓷基板、太陽能電池用基板等基板(以下，簡稱為“基板”)進行處理。

背景技術

以往，這種裝置具有分度器區、處理區以及翻轉路徑區。例如，可以參照日本特開2008-166369號公報(圖1)。處理區具有表面清洗單元和背面清洗單元。翻轉路徑區安裝在分度器區和處理區之間。

分度器區具有容納架載置部和分度器機械手。容納架載置部載置容納有多張基板的容納架。分度器機械手在容納架和翻轉路徑區之間搬運基板。翻轉路徑區具有載置基板的多層擱板。翻轉路徑區具有與處理區之間交接基板的翻轉路徑單元。另外，翻轉路徑單元使基板的表面和背面翻轉。處理區具有主機械手。主機械手在表面清洗單元以及背面清洗單元和翻轉路徑單元之間搬運基板。

分度器機械手構成為能夠在配置有容納架載置部的水平方向上移動。另外，分度器機械手構成為能夠在上下方向上伸縮，并且構成為能夠以鉛直軸為中心旋轉。搭載于上部的手部構成為能夠在水平方向上進退。在進行基板處理時，具有這種結構的分度器機械手在利用手部保持從容納架取出的基板的狀態下，水平移動至與翻轉路徑單元相向的位置。然后，分度器機械手使手部向翻轉路徑單元內的交接對象的擱板升降，進而使手部進出該擱板。然后，分度器機械手通過使其手部下降而將基板向翻轉路徑單元搬運。另外，在接收由處理區處理的基板時，分度器機械手向與翻轉路徑單元相向的位置水平移動。然后，分度器機械手使手部向載置有清洗完成的基板的翻轉路徑單元內的擱板升降，進而使手部進出該擱板。然后，分度器機械手通過使其手部上升來從翻轉路徑單元接收基板。

然而，在具有如上結構的以往例的情況下，存在如下問題。

即，以往的裝置需要使分度器機械手向與翻轉路徑單元相向的位置水平移動。因此，需要時間來進行分度器機械手和翻轉路徑區之間的基板的交接，因而存在搬運效率低的問題。

為了避免該問題，考慮采用具有導軌、基臺部以及多關節臂的分度器機械手。導軌在水平方向的位置固定，并且沿上下方向配置。基臺部沿著導軌在上下方向上移動。多關節臂在頂端側具有手部。多關節臂搭載于基臺部。在這樣的分度器機械手中，基臺部配置在配置有多個容納架載置部的水平方向的中央部。而且，在這樣的分度器機械手中，基臺部配置在與翻轉路徑區的基板的載置位置相向的位置附近。這里的“附近”是指，在分度器機械手和翻轉路徑區之間適合進行基板交接的位置。由此，分度器機械手能夠在與多個容納架載置部的各容納架之間交接基板。然而，若是這種配置，則會產生另一個問題：導軌妨礙基板在分度器機械手和翻轉路徑單元之間的交接。

發明內容

本發明鑒于上述問題而提出，其目的在于提供一種基板處理裝置，其通過改變分度器機械手的配置，能夠提高分度器機械手與翻轉路徑區之間的基板交接效率。

為達到上述目的，本發明采用如下結構。