[發明專利]基板處理裝置

有效

• 申請號: 202011019558.6
• 申請日: 2020-09-24
• 公開（公告）號: CN112570331B
• 公開（公告）日: 2023-01-17
• 發明（設計）人: 內田雄三;菊本憲幸;河原啟之
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: B08B1/02
• 分類號: B08B1/02;B08B1/00;B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 向勇;宋曉寶

1.一種基板處理裝置，對基板進行清洗處理，其中，

包括：

分度器區，具有：容納架載置部，載置容納多張基板的容納架，分度器機械手，與所述容納架載置部的所述容納架之間搬運基板；

處理區，作為處理單元，具有進行基板的表面清洗處理的表面清洗單元以及進行基板的背面清洗處理的背面清洗單元；以及

翻轉路徑區，配置在所述分度器區和所述處理區之間，具有載置基板的多層擱板，并且具有使基板的表面和背面翻轉的翻轉功能，

所述分度器機械手具有：導軌，水平方向的位置被固定且立設；基臺部，沿著所述導軌升降移動；多關節臂，配置于所述基臺部；以及手部，在所述多關節臂的頂端部側的臂上支撐基板，

從所述容納架載置部側觀察，所述導軌配置于不與所述翻轉路徑區中的基板的載置位置重疊的位置，并且配置于所述翻轉路徑區側的內壁側，

在俯視時，所述導軌配置于從連結所述載置位置的中央和所述分度器區的中央的虛擬線向側方偏移的位置，

所述分度器區在水平方向上具有多個所述容納架載置部，

所述基臺部具有基臺部主體和從所述基臺部主體向所述容納架載置部側延伸的固定臂，

所述分度器機械手在所述固定臂的頂端側具有所述多關節臂的基端部，

所述固定臂的頂端部位于配置有各個所述容納架載置部的水平方向的中央且位于相比所述導軌更靠近所述容納架載置部側，

所述手部在所述翻轉路徑區載置基板時與所述固定臂以及所述基臺部都不發生干擾，并且所述手部能夠進入多個所述容納架載置部中的任意一個。

2.如權利要求1所述的基板處理裝置，其中，

從所述容納架載置部側觀察，所述多關節臂中的第一關節的旋轉軸從所述導軌向所述載置位置側偏移配置。

3.如權利要求1或2所述的基板處理裝置，其中，

所述手部具有多個用于支撐基板的手部主體。