[發明專利]高濃度臭氧水檢測裝置及方法

有效

• 申請號: 202011013543.9
• 申請日: 2020-09-24
• 公開（公告）號: CN112067568B
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發明（設計）人: 徐飛;顧建波;沈健;鄔治國
• 申請（專利權）人: 常州瑞擇微電子科技有限公司
• 主分類號: G01N21/33
• 分類號: G01N21/33;G01N1/34;G01N1/38
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 王富強

本發明公開一種高濃度臭氧水檢測裝置及方法，裝置包括：流量控制器、脫氣裝置、混合件、第一調壓閥、第二調壓閥、第三調壓閥以及流量計，混合件第一端設有純水通道，第二端設有與純水通道相對設置且相互連通的臭氧水通道，臭氧水通道的直徑小于純水通道直徑，混合件上還設有與純水通道連通以供混合液體流出的混合液通道，第一調壓閥、脫氣裝置和流量控制器依次連接，且流量控制器連接于純水通道上，第二調壓閥連接于臭氧水通道上，流量計連接于混合液通道上，第三調壓閥連接于流量計上。如此設置，能夠排除臭氧水中氣泡對檢測的干擾，提高臭氧水濃度檢測的準確性，并且由于無需分離臭氧水的中的氣泡，能夠對臭氧水進行實時的檢測，無滯后性。

技術領域

本發明涉及高濃度臭氧水濃度檢測技術領域，特別是涉及一種高濃度臭氧水檢測裝置及方法。

背景技術

高濃度臭氧水直接通過臭氧水濃度檢測儀進行檢測。在線式濃度檢測原理是通過測量臭氧水對紫外光吸收前后光強度信號的變化，由此計算出當前臭氧水的濃度值。30ppm以上的高濃度臭氧水一般都是通過加壓的方式獲得。臭氧濃度檢測儀不耐高壓，所以在測量時需要將臭氧水減壓，臭氧水在減壓的過程中，臭氧水中會產生很多氣泡，氣泡嚴重干擾了紫外光信號強度變化，導致臭氧水濃度檢測不準確。因此，如何解決現有技術中對高濃度臭氧水濃度檢測時高濃度臭氧水容易出現氣泡而影響檢測結果的問題是本領域技術人員所亟需解決的技術問題。

發明內容

為解決以上技術問題，本發明提供一種能夠避免檢測過程中氣泡對檢測結果造成干擾以提高臭氧水濃度檢測準確性的高濃度臭氧水檢測裝置及方法。

為實現上述目的，本發明提供了如下方案：

本發明提供一種高濃度臭氧水檢測裝置，包括：流量控制器、脫氣裝置、混合件、第一調壓閥、第二調壓閥、第三調壓閥以及流量計，所述混合件第一端設有供純水進入的純水通道，第二端設有與所述純水通道相對設置且相互連通、以供臭氧水進入的臭氧水通道，所述臭氧水通道的直徑小于所述純水通道直徑，所述混合件上還設有與所述純水通道連通以供混合液體流出的混合液通道，所述第一調壓閥、所述脫氣裝置和所述流量控制器依次連接，且所述流量控制器連接于所述純水通道上，所述第二調壓閥連接于所述臭氧水通道上，所述流量計連接于所述混合液通道上，所述第三調壓閥連接于所述流量計上。

進一步地，所述脫氣裝置包括脫氣膜和真空發生器，所述脫氣膜一端與所述第一調壓閥連通，另一端與所述流量控制器連通，所述真空發生器與所述脫氣膜的抽真空口連通。

進一步地，還包括脫水裝置，所述真空發生器通過所述脫水裝置與所述脫氣膜的抽真空口連通。

進一步地，所述臭氧水通道的直徑為0.4-0.6mm。

進一步地，所述混合件包括第一結構塊、第二結構塊、墊板、底板以及緊固件，所述第一結構塊和所述第二結構塊相抵，所述臭氧水通道設置于所述第二結構塊上，所述純水通道和所述混合液通道均設置于所述第一結構塊上，所述墊板與所述第一結構塊遠離所述第二結構塊的一端相抵，所述底板與所述第二結構塊遠離所述第一結構塊的一端相抵，所述緊固件用于將四者固定。

本發明還提供了一種高濃度臭氧水濃度檢測方法，包括步驟：去除純水中的氣體，利用去除氣體后的純水將待檢測的高濃度的臭氧水稀釋，利用臭氧水檢測儀檢測稀釋后的濃度臭氧水。

進一步地，稀釋后的臭氧水在檢測前先由調壓閥調壓。

進一步地，利用去除氣體后的純水將待檢測的高濃度的臭氧水稀釋5-15倍。

本發明相對于現有技術取得了以下技術效果：