[發明專利]高濃度臭氧水檢測裝置及方法

有效

• 申請號: 202011013543.9
• 申請日: 2020-09-24
• 公開（公告）號: CN112067568B
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發明（設計）人: 徐飛;顧建波;沈健;鄔治國
• 申請（專利權）人: 常州瑞擇微電子科技有限公司
• 主分類號: G01N21/33
• 分類號: G01N21/33;G01N1/34;G01N1/38
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 王富強

1.一種高濃度臭氧水檢測裝置，其特征在于，包括：流量控制器、脫氣裝置、混合件、第一調壓閥、第二調壓閥、第三調壓閥以及流量計，所述混合件第一端設有供純水進入的純水通道，第二端設有與所述純水通道相對設置且相互連通、以供臭氧水進入的臭氧水通道，所述臭氧水通道的直徑小于所述純水通道直徑，所述混合件上還設有與所述純水通道連通以供混合液體流出的混合液通道，所述第一調壓閥、所述脫氣裝置和所述流量控制器依次連接，且所述流量控制器連接于所述純水通道上，所述第二調壓閥連接于所述臭氧水通道上，所述流量計連接于所述混合液通道上，所述第三調壓閥連接于所述流量計上，所述第一調壓閥連接至純水水源處，所述第二調壓閥連接至高濃度臭氧水處，純水經過所述第一調壓閥調壓后進入到所述脫氣裝置進行脫氣，經過脫氣的純水經過流量控制器設定和控制純水的流量值再進入到所述混合件內的所述純水通道，臭氧水經過所述臭氧水通道進入所述混合件內，所述臭氧水通道噴射出的高濃度臭氧水迅速被所述純水通道內大流量的純水溶解和稀釋，混合后的臭氧水經過所述流量計，再經過所述第三調壓閥，最后至臭氧水檢測儀處。

2.根據權利要求1所述的高濃度臭氧水檢測裝置，其特征在于，所述脫氣裝置包括脫氣膜和真空發生器，所述脫氣膜一端與所述第一調壓閥連通，另一端與所述流量控制器連通，所述真空發生器與所述脫氣膜的抽真空口連通。

3.根據權利要求2所述的高濃度臭氧水檢測裝置，其特征在于，還包括脫水裝置，所述真空發生器通過所述脫水裝置與所述脫氣膜的抽真空口連通。

4.根據權利要求1所述的高濃度臭氧水檢測裝置，其特征在于，所述臭氧水通道的直徑為0.4-0.6mm。

5.根據權利要求1所述的高濃度臭氧水檢測裝置，其特征在于，所述混合件包括第一結構塊、第二結構塊、墊板、底板以及緊固件，所述第一結構塊和所述第二結構塊相抵，所述臭氧水通道設置于所述第二結構塊上，所述純水通道和所述混合液通道均設置于所述第一結構塊上，所述墊板與所述第一結構塊遠離所述第二結構塊的一端相抵，所述底板與所述第二結構塊遠離所述第一結構塊的一端相抵，所述緊固件用于將四者固定。

6.一種高濃度臭氧水濃度檢測方法，其特征在于，使用如權利要求1-5任一項所述的高濃度臭氧水檢測裝置進行高濃度臭氧水濃度檢測包括以下步驟：

去除純水中的氣體，利用去除氣體后的純水將待檢測的高濃度的臭氧水稀釋，利用臭氧水檢測儀檢測稀釋后的濃度臭氧水。

7.根據權利要求6所述的高濃度臭氧水濃度檢測方法，其特征在于，稀釋后的臭氧水在檢測前先由調壓閥調壓。

8.根據權利要求6所述的高濃度臭氧水濃度檢測方法，其特征在于，利用去除氣體后的純水將待檢測的高濃度的臭氧水稀釋5-15倍。