[發明專利]具有監測側刻量功能的顯示面板及其制作方法、監測方法

有效

• 申請號: 202011012535.2
• 申請日: 2020-09-24
• 公開（公告）號: CN112216681B
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發明（設計）人: 崔立全
• 申請（專利權）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: H01L23/544
• 分類號: H01L23/544;H01L21/66;H01L51/56
• 代理公司: 南京科知維創知識產權代理有限責任公司 32270
• 代理人: 梁珺

1.一種具有側刻量監測功能的顯示母板，其特征在于，所述顯示母板包括多個顯示面板以及位于所述顯示面板之間的無效空白區，所述顯示面板包括顯示區以及非顯示區，所述顯示母板還包括：

TEG監測區，位于所述無效空白區，所述TEG監測區具有于基板上形成的圖形化的第一鈦鋁鈦金屬層，所述第一鈦鋁鈦金屬層具有自所述基板依次層疊設置的第一底鈦層、第一鋁層以及第一頂鈦層，且所述第一鈦鋁鈦金屬層經過側蝕刻工藝蝕刻后，所述第一鈦鋁鈦金屬層具有第一側刻量，且所述第一頂鈦層的對應被蝕刻區域的第一部分斷裂；以及

功能區，位于所述非顯示區，所述功能區具有于所述基板上依次形成的圖形化的第一平坦化層、第二鈦鋁鈦金屬層，所述第二鈦鋁鈦金屬層具有自所述第一平坦化層依次層疊的第二底鈦層、第二鋁層以及第二頂鈦層，且所述功能區的所述第二鈦鋁鈦金屬層與所述第一鈦鋁鈦金屬層同時經過所述側蝕刻工藝蝕刻后，所述第二鈦鋁鈦金屬層具有第二側刻量，所述第二側刻量等于所述第一側刻量，且所述第二頂鈦層的對應被蝕刻區域的第二部分未斷裂。

2.如權利要求1所述的具有側刻量監測功能的顯示母板，其特征在于，所述第一頂鈦層具有第一厚度，所述第一底鈦層具有第二厚度，所述第一厚度小于所述第二厚度；所述第二頂鈦層具有第三厚度，所述第二底鈦層具有第二厚度，所述第三厚度大于所述第二厚度。

3.如權利要求2所述的具有側刻量監測功能的顯示母板，其特征在于，所述第一厚度為150~250?m，所述第二厚度為450~550?m，所述第三厚度為700~750 ?m。

4.如權利要求1所述的具有側刻量監測功能的顯示母板，其特征在于，所述顯示區具有于所述基板上依次形成的圖形化的所述第一平坦化層、所述第二鈦鋁鈦金屬層、第二平坦化層、陽極層、像素定義層以及支撐結構層。

5.如權利要求1所述的具有側刻量監測功能的顯示母板，其特征在于，所述功能區為打孔區域。

6.一種顯示母板的側刻量的監測方法，其特征在于，所述監測方法包括：

提供如權利要求1-5中任意一項所述的顯示母板；以及

檢測獲取所述第一鈦鋁鈦金屬層的所述第一側刻量，并判斷所述第一側刻量是否滿足預設閾值，根據所述第一鈦鋁鈦金屬層的所述第一側刻量表征所述功能區的所述第二鈦鋁鈦金屬層的所述第二側刻量。