[發明專利]試樣保持架和帶電粒子束裝置

在審

• 申請號: 202011012007.7
• 申請日: 2020-09-23
• 公開（公告）號: CN112563102A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 巖堀敏行
• 申請（專利權）人: 日本株式會社日立高新技術科學
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/30
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 孫明浩;崔成哲

1.一種試樣保持架，其特征在于，所述試樣保持架具有：

基礎部，其固定于驅動載臺；

試樣搭載部，其搭載試樣；

驅動引導部，其引導所述基礎部和所述試樣搭載部的同步的驅動；

功能部，其對所述試樣作用規定功能；

連接部件，其與所述功能部連接；

第1支承部，其將由所述驅動載臺驅動的所述基礎部與所述連接部件之間支承為能夠相對移動；以及

固定引導部，其經由所述第1支承部而與所述基礎部連接，并且，獨立于所述基礎部而引導所述連接部件的固定。

2.根據權利要求1所述的試樣保持架，其特征在于，

所述試樣保持架具有第2支承部，所述第2支承部將由所述驅動載臺驅動的所述試樣搭載部與所述功能部之間支承為能夠相對移動，

所述功能部經由所述第2支承部而與所述試樣搭載部連接。

3.根據權利要求1或2所述的試樣保持架，其特征在于，

所述功能部通過在形成于內部的流路和所述連接部件中流通的制冷劑對所述試樣搭載部進行冷卻。

4.根據權利要求3所述的試樣保持架，其特征在于，

所述驅動引導部具有熱絕緣構造。

5.根據權利要求1所述的試樣保持架，其特征在于，

所述試樣保持架具有導通連接部，所述導通連接部在導通狀態下將固定于由所述驅動載臺驅動的所述試樣搭載部的所述功能部與所述連接部件之間連接為能夠相對移動。

6.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，所述帶電粒子束裝置具有：

權利要求1至5中的任意一項所述的試樣保持架；

試樣室，其配置有所述驅動載臺；

帶電粒子束鏡筒，其對所述試樣照射帶電粒子束；

更換室，其安裝于所述試樣室；

開閉部，其對所述試樣室與所述更換室之間進行開閉；以及

搬運部件，其在所述試樣室與所述更換室之間搬運所述試樣保持架。