[發(fā)明專利]試樣保持架和帶電粒子束裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011012007.7
• 申請日: 2020-09-23
• 公開（公告）號: CN112563102A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 巖堀敏行
• 申請（專利權(quán)）人: 日本株式會社日立高新技術(shù)科學(xué)
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/30
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 孫明浩;崔成哲

提供試樣保持架和帶電粒子束裝置，能夠抑制裝置結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜，并且能夠容易地變更試樣的位置和姿態(tài)。試樣保持架(19)具有基礎(chǔ)部(41)、試樣搭載部(42)、旋轉(zhuǎn)引導(dǎo)部(43)、冷卻載臺(46)、連接部件(47)、第1支承部和固定引導(dǎo)部(48)。基礎(chǔ)部(41)固定于由載臺驅(qū)動機構(gòu)(13)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的載臺(12)。旋轉(zhuǎn)引導(dǎo)部(43)引導(dǎo)基礎(chǔ)部(41)和試樣搭載部(42)的同步旋轉(zhuǎn)。冷卻載臺(46)對試樣(S)進行冷卻。連接部件(47)與冷卻載臺(46)連接。第1支承部支承由載臺(12)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的基礎(chǔ)部(41)。固定引導(dǎo)部(48)經(jīng)由第1支承部而與基礎(chǔ)部(41)連接，并且，獨立于基礎(chǔ)部(41)而引導(dǎo)連接部件(47)的固定。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及試樣保持架和帶電粒子束裝置。

背景技術(shù)

以往，在電子束裝置、會聚離子束裝置或會聚離子束和電子束的復(fù)合束裝置等帶電粒子束裝置中，優(yōu)選進行基于所謂in-situ的多種試樣分析。例如，公知有一種帶電粒子束裝置，該帶電粒子束裝置具有用于一邊冷卻試樣一邊進行加工和觀察的冷卻載臺、用于對試樣的電氣特性等進行分析的多探針、以及用于對試樣的機械特性進行分析的納米壓痕儀等。

例如，公知有一種會聚離子束裝置，該會聚離子束裝置具有：試樣保持架，其在試樣室的內(nèi)部保持試樣以用于試樣的冷卻；以及冷卻用的熱傳遞部件，其與試樣保持架連結(jié)，并且經(jīng)由設(shè)置于試樣室的冷卻端口被引導(dǎo)至外部(例如參照專利文獻1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2005-136389號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題

但是，在上述這種帶電粒子束裝置中，有時與多個不同試樣分析對應(yīng)地在形成于試樣室的多個專用端口配置有各種管和纜線等。但是，在試樣室形成有多個專用端口的情況下，各種設(shè)備的布局可能產(chǎn)生制約。此外，例如在具有由多個不同旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)等驅(qū)動的載臺(試樣臺)的情況下，各種試樣分析所需要的管和纜線等與載臺或試樣保持架連接，由此，可能很難進行期望的驅(qū)動。

本發(fā)明的目的在于，提供如下的試樣保持架和帶電粒子束裝置：能夠抑制裝置結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜，并且能夠容易地變更試樣的位置和姿態(tài)。

用于解決問題的手段

為了解決上述課題，本發(fā)明的試樣保持架具有：基礎(chǔ)部，其固定于驅(qū)動載臺；試樣搭載部，其搭載試樣；驅(qū)動引導(dǎo)部，其引導(dǎo)所述基礎(chǔ)部和所述試樣搭載部的同步的驅(qū)動；功能部，其對所述試樣作用規(guī)定功能；連接部件，其與所述功能部連接；第1支承部，其將由所述驅(qū)動載臺驅(qū)動的所述基礎(chǔ)部與所述連接部件之間支承為能夠相對移動；以及固定引導(dǎo)部，其經(jīng)由所述第1支承部而與所述基礎(chǔ)部連接，并且，獨立于與所述基礎(chǔ)部而引導(dǎo)所述連接部件的固定。

在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是，所述試樣保持架具有第2支承部，所述第2支承部將由所述驅(qū)動載臺驅(qū)動的所述試樣搭載部與所述功能部之間支承為能夠相對移動，所述功能部經(jīng)由所述第2支承部而與所述試樣搭載部連接。

在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是，所述功能部通過在形成于內(nèi)部的流路和所述連接部件中流通的制冷劑對所述試樣搭載部進行冷卻。

在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是，所述驅(qū)動引導(dǎo)部具有熱絕緣構(gòu)造。

在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是，所述試樣保持架具有導(dǎo)通連接部，所述導(dǎo)通連接部在導(dǎo)通狀態(tài)下將固定于由所述驅(qū)動載臺驅(qū)動的所述試樣搭載部的所述功能部與所述連接部件之間連接為能夠相對移動。

本發(fā)明的帶電粒子束裝置具有：上述任意一個試樣保持架；試樣室，其配置有所述驅(qū)動載臺；帶電粒子束鏡筒，其對所述試樣照射帶電粒子束；更換室，其安裝于所述試樣室；開閉部，其對所述試樣室與所述更換室之間進行開閉；以及搬運部件，其在所述試樣室與所述更換室之間搬運所述試樣保持架。

發(fā)明的效果