[發(fā)明專利]一種用于集成電路制造的多工位測(cè)試裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011009803.5
• 申請(qǐng)日: 2020-09-23
• 公開（公告）號(hào): CN112255269A
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐小宇;何風(fēng)辰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鄭州竹蜻蜓電子科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N25/72
• 分類號(hào): G01N25/72;F16F15/067
• 代理公司: 鄭州芝麻知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 41173
• 代理人: 朱亞飛

本發(fā)明公開了一種用于集成電路制造的多工位測(cè)試裝置，包括下料機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)、用于帶動(dòng)集成電路板移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、機(jī)架，所述下料機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述機(jī)架一側(cè)，所述升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述機(jī)架頂部，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述機(jī)架內(nèi)側(cè)，還包括測(cè)試機(jī)構(gòu)和定位帶、熱感監(jiān)控?cái)z像頭，所述測(cè)試機(jī)構(gòu)包括緩沖座、安裝板、緩沖彈簧、檢測(cè)座，所述緩沖座下端安裝在所述安裝板頂部。本發(fā)明利用熱感監(jiān)控?cái)z像頭對(duì)測(cè)量時(shí)的集成電路板進(jìn)行檢測(cè)，從而可以對(duì)被檢測(cè)電路板的發(fā)熱部位進(jìn)行檢測(cè)，進(jìn)而便于挑選出不合格的集成電路板，利用緩沖座和緩沖彈簧可以對(duì)安裝板進(jìn)行支撐，從而可以在檢測(cè)座檢測(cè)時(shí)防止壓力過大對(duì)集成電路板造成損壞。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，特別是涉及一種用于集成電路制造的多工位測(cè)試裝置。

背景技術(shù)

集成電路是一種微型電子器件或部件。采用一定的工藝，把一個(gè)電路中所需的晶體管、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起，制作在一小塊或幾小塊半導(dǎo)體晶片或介質(zhì)基片上，然后封裝在一個(gè)管殼內(nèi)，成為具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu)；其中所有元件在結(jié)構(gòu)上已組成一個(gè)整體，使電子元件向著微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面邁進(jìn)了一大步；在集成電路的多工位測(cè)試中，需要相應(yīng)的機(jī)構(gòu)對(duì)集成電路進(jìn)行限制固定，而集成電路上又包含很多的微小電氣元件，因此在機(jī)構(gòu)對(duì)集成電路進(jìn)行固定時(shí)，難免會(huì)造成集成電路的損傷，同時(shí)在傳統(tǒng)的測(cè)試中，一般都沒有對(duì)單獨(dú)的對(duì)集成電路溫度的檢測(cè)，即便是有溫度檢測(cè)裝置也不能確定集成電路的發(fā)熱位置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的就在于為了解決上述問題而提供一種用于集成電路制造的多工位測(cè)試裝置。

本發(fā)明通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)上述目的：

一種用于集成電路制造的多工位測(cè)試裝置，包括下料機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)、用于帶動(dòng)集成電路板移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、機(jī)架，所述下料機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述機(jī)架一側(cè)，所述升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述機(jī)架頂部，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述機(jī)架內(nèi)側(cè)，還包括測(cè)試機(jī)構(gòu)和定位帶、熱感監(jiān)控?cái)z像頭，所述測(cè)試機(jī)構(gòu)包括緩沖座、安裝板、緩沖彈簧、檢測(cè)座，所述緩沖座下端安裝在所述安裝板頂部，所述緩沖彈簧設(shè)置在所述緩沖座外側(cè)，所述檢測(cè)座安裝在所述安裝板底部；所述定位帶連接所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述熱感監(jiān)控?cái)z像頭安裝在所述機(jī)架內(nèi)側(cè)，所述熱感監(jiān)控?cái)z像頭采用Fotric616在線式紅外熱像儀。

優(yōu)選的：所述下料機(jī)構(gòu)包括下料架、限位氣缸、限位板、限位架，所述下料架下端安裝在所述機(jī)架頂部一側(cè)，所述限位架通過焊接連接在所述下料架前后兩側(cè)，所述限位氣缸固定部通過螺栓連接在兩個(gè)所述限位架外側(cè)，所述限位板通過螺紋連接在所述限位氣缸伸縮部。

如此設(shè)置，利用所述限位氣缸伸縮部帶動(dòng)所述限位板進(jìn)行移動(dòng)，通過所述限位板在所述下料架下端的移動(dòng)，從而方便于集成電路板的落在所述定位帶上的限位槽口內(nèi)。

優(yōu)選的：所述升降機(jī)構(gòu)包括升降電機(jī)、絲杠、升降架、支撐架，所述支撐架下端通過螺栓連接在所述機(jī)架頂部，所述升降電機(jī)通過螺栓連接在所述支撐架頂部，所述絲杠通過軸承連接在所述支撐架前后兩側(cè)，所述升降架前后兩端通過螺紋連接在所述絲杠外側(cè)。

如此設(shè)置，利用所述升降電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)部帶動(dòng)所述絲杠進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，通過所述絲杠的轉(zhuǎn)動(dòng)來帶動(dòng)所述升降架在所述支撐架內(nèi)進(jìn)行升降。

優(yōu)選的：所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、驅(qū)動(dòng)輥、帶輪、皮帶，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過螺栓連接在所述機(jī)架前端一側(cè)，所述驅(qū)動(dòng)輥通過軸承連接在所述機(jī)架內(nèi)側(cè)，所述帶輪通過鍵連接在所述驅(qū)動(dòng)輥后側(cè)，所述皮帶設(shè)置在所述帶輪外側(cè)。

如此設(shè)置，利用所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)部帶動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)輥進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，通過所述帶輪和所述皮帶的傳動(dòng)來帶動(dòng)另一個(gè)所述驅(qū)動(dòng)輥進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。

優(yōu)選的：所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、驅(qū)動(dòng)輥、鏈輪、鏈條，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過螺栓連接在所述機(jī)架前端一側(cè)，所述驅(qū)動(dòng)輥通過軸承連接在所述機(jī)架內(nèi)側(cè)，所述鏈輪通過鍵連接在所述驅(qū)動(dòng)輥后側(cè)，所述鏈條設(shè)置在所述鏈輪外側(cè)。