[發明專利]一種微動光學平臺

有效

• 申請號: 202011008479.5
• 申請日: 2020-09-23
• 公開（公告）號: CN112099173B
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發明（設計）人: 羅剛
• 申請（專利權）人: 湖北三江航天紅陽機電有限公司
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00
• 代理公司: 北京眾達德權知識產權代理有限公司 11570
• 代理人: 詹守琴

本發明屬于微動光學平臺技術領域，公開了一種微動光學平臺，三爪柔鉸的爪端部和基座分別固定在第一和第二基板上，第一直線驅動器固定在第一基板上且其伸縮端部通過兩自由度柔鉸固定在第二基板上；第三基板包括：外框板、光學元件安裝板以及外置柔性桿組件；光學元件安裝板嵌于外框板內，且其邊沿通過多個外置柔性桿組件與外框板相連；第二直線驅動器固定在第二基板上，且其伸縮端部與光學元件安裝板連接；平動柔鉸的兩端分別與第二基板和外框板連接，第三和第四直線驅動器分別固定在外框板上，且二者的伸縮端部分別抵靠在外置柔性桿組件上。本發明能夠避免潤滑介質的流動和揮發以及磨損塵屑污染和破壞高潔凈度光學環境和精密光學器件的問題。

技術領域

本發明涉及微動光學平臺技術領域，特別涉及一種微動光學平臺。

背景技術

在光電子行業、激光物理研究領域的基礎實驗中，用于調整精密光學部件的空間位置的微動光學平臺需要具備R_X和R_Y兩個維度的旋轉自由度以及D_X、D_y和D_Z三個維度的平移自由度的微調功能。但是，現有的微動光學平臺基本通過剛性機構構建五個自由度的傳動鏈，由于集成了多組剛性導向和驅動機構，平臺的外形體積和重量較大；同時采用剛性機構的平臺傳動鏈需要潤滑并存在構件磨損，其潤滑介質的流動和揮發以及磨損塵屑容易污染和破壞高潔凈度光學環境和精密光學器件。

發明內容

本發明提供一種微動光學平臺，解決現有技術中微動光學平臺的潤滑介質的流動和揮發以及磨損塵屑污染和破壞高潔凈度光學環境和精密光學器件的技術問題。

為解決上述技術問題，本發明提供了一種微動光學平臺，包括：第一基板、第二基板、第三基板、三爪柔鉸、第一直線驅動器、兩自由度柔鉸、第二直線驅動器、平動柔鉸、第三直線驅動器和第四直線驅動器；

所述第一基板、所述第二基板以及所述第三基板在厚度方向上平行布置；

所述三爪柔鉸的爪端部和基座分別固定在所述第一基板和所述第二基板上，所述第一直線驅動器固定在所述第一基板上且所述第一直線驅動器的伸縮端部通過所述兩自由度柔鉸固定在所述第二基板上；

所述第三基板包括：外框板、光學元件安裝板以及外置柔性桿組件；

所述光學元件安裝板嵌于所述外框板內，且所述光學元件安裝板的邊沿通過多個所述外置柔性桿組件與所述外框板相連；

所述第二直線驅動器固定在第二基板上，且所述第二直線驅動器的伸縮端部與所述光學元件安裝板連接；

所述平動柔鉸的兩端分別與所述第二基板和外框板連接，所述第三直線驅動器和所述第四直線驅動器分別固定在所述外框板上，且所述第三直線驅動器的伸縮端部和所述第四直線驅動器的伸縮端部分別抵靠在所述外置柔性桿組件上；

其中，所述第三直線驅動器和所述第四直線驅動器的動作方向相互垂直。

進一步地，所述第一直線驅動器以及所述兩自由度柔鉸的數量均為兩個，且兩個所述第一直線驅動器關于所述光學元件安裝板的中軸線對稱布置。

進一步地，所述第二直線驅動器的伸縮端部固定在所述第二基板的幾何中心處。

進一步地，所述的平動柔鉸的數量為四件，四件所述平動柔鉸均布在所述外框板上。

進一步地，所述第三直線驅動器和所述第四直線驅動器的數量均為兩個；

兩個所述第三直線驅動器的伸縮行程位于同一直線上，且兩個所述第三直線驅動器對稱布置在所述光學元件安裝板兩側；

兩個所述第三直線驅動器的伸縮行程位于同一直線上，且兩個所述第三直線驅動器對稱布置在所述光學元件安裝板兩側。