[發(fā)明專利]一種晶硅切片機(jī)主軸非接觸密封結(jié)構(gòu)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011006436.3 | 申請(qǐng)日： | 2020-09-23 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN112081924A | 公開（公告）日： | 2020-12-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鹿慧豐;王海超;仇健 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 青島高測(cè)科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | F16J15/34 | 分類號(hào)： | F16J15/34;F16J15/40;F16J15/16 |
| 代理公司： | 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 于晶晶 |
| 地址： | 266114 山東省青*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 切片機(jī) 主軸 接觸 密封 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種晶硅切片機(jī)主軸非接觸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：主軸外套，其套設(shè)在主軸芯軸外側(cè)，用于對(duì)主軸芯軸進(jìn)行支撐；
密封靜環(huán)，其固定在主軸外套靠近主軸芯軸端部的一側(cè)；
以及密封動(dòng)環(huán)，其固定在主軸芯軸上；
密封靜環(huán)與密封動(dòng)環(huán)之間形成氣幕間隙和排污腔，排污腔位于氣幕間隙靠近零部件安裝空間一側(cè)，氣幕間隙與外界連通，密封靜環(huán)上開設(shè)有用于對(duì)氣幕間隙供氣的靜環(huán)供氣孔，密封靜環(huán)上開設(shè)有用于將排污腔中的污染雜質(zhì)排出的靜環(huán)排污孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶硅切片機(jī)主軸非接觸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述氣幕間隙與排污腔之間設(shè)置有用于對(duì)進(jìn)入到排污腔當(dāng)中的氣體進(jìn)行限制的第一密封間隙。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶硅切片機(jī)主軸非接觸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一密封間隙與所述氣幕間隙之間設(shè)置有呈環(huán)形的出氣間隙，出氣間隙與靜環(huán)供氣孔直接連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶硅切片機(jī)主軸非接觸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述密封靜環(huán)與主軸外套之間設(shè)置有法蘭，密封靜環(huán)與法蘭相互貼合的一側(cè)設(shè)置有供氣環(huán)槽，法蘭上開設(shè)有為供氣環(huán)槽供氣的法蘭供氣孔，靜環(huán)供氣孔在密封靜環(huán)上設(shè)置有若干個(gè)且環(huán)繞密封靜環(huán)設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶硅切片機(jī)主軸非接觸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述排污腔靠近零部件安裝空間一側(cè)設(shè)置有位于密封靜環(huán)和密封動(dòng)環(huán)之間的容脂腔，容脂腔用于容納油脂。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶硅切片機(jī)主軸非接觸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述排污腔和所述容脂腔之間設(shè)置有位于密封靜環(huán)和密封動(dòng)環(huán)之間的第二密封間隙。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶硅切片機(jī)主軸非接觸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一密封間隙和所述第二密封間隙都為迷宮間隙，迷宮間隙為延伸方向發(fā)生至少一次變化的間隙。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶硅切片機(jī)主軸非接觸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述密封靜環(huán)包括密封靜環(huán)一和密封靜環(huán)二，密封靜環(huán)二與密封動(dòng)環(huán)之間形成氣幕間隙，密封靜環(huán)一和密封靜環(huán)二為一體或分體，當(dāng)密封靜環(huán)一和密封靜環(huán)二為分體時(shí)，密封靜環(huán)一和密封靜環(huán)二的相對(duì)位置固定。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種晶硅切片機(jī)主軸非接觸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述主軸外套與密封靜環(huán)一之間設(shè)置有法蘭，法蘭固定連接在主軸外套上，密封靜環(huán)一與法蘭一體或分體，當(dāng)密封靜環(huán)一與法蘭為分體時(shí)，密封靜環(huán)一與法蘭的相對(duì)位置固定。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶硅切片機(jī)主軸非接觸密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：沿背離零部件安裝空間的方向，密封動(dòng)環(huán)靠近密封靜環(huán)一側(cè)的直徑逐漸增大。
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