[發明專利]一種晶圓探針臺

在審

• 申請號: 202011005550.4
• 申請日: 2020-09-22
• 公開（公告）號: CN112014711A
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 江永
• 申請（專利權）人: 東莞市凱迪微清洗技術有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/04;G01N21/84;G01B21/08;G01B11/02;G01B11/00
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 張勛

1.一種晶圓探針臺，其特征在于，包括一結構主體，所述結構主體包括測試箱及設于所述測試箱內的晶圓檢測裝置；

所述晶圓檢測裝置包括檢測臺，所述檢測臺上設有滑軌組，所述滑軌組上設有晶圓承載臺，所述晶圓承載臺一側設有探針卡影像裝置，所述檢測臺上還設有探針卡承載臺，所述探針卡承載臺位于所述晶圓承載臺上方，所述探針卡承載臺前方設有晶圓影像裝置；

所述滑軌組包括固定設置于所述檢測臺上的Y軸軸向滑軌，所述Y軸軸向滑軌上設有與之垂直連接的X軸軸向滑軌，所述X軸軸向滑軌上設有與之滑動連接的晶圓承載移動座，所述晶圓承載移動座上設有升降臺，所述晶圓承載臺位于所述升降臺上；

所述晶圓承載臺包括晶圓承載盤下設有實現旋轉的旋轉組件及實現升降的升降組件，所述旋轉組件包括第二閉環進步電機及第二高精度絲桿，所述第二閉環進步電機與所述第二高精度絲桿驅動連接，所述第二高精度絲桿與所述晶圓承載盤緊密連接，所述升降組件包括與所述旋轉組件固定連接的高精度花鍵軸，所述高精度花鍵軸底部中心設有Z軸軸向高精度絲桿，所述Z軸軸向高精度絲桿末端設有與之驅動連接的Z軸軸向閉環進步電機；

所述探針卡承載臺包括探針卡承載臺支撐架，所述探針卡承載臺支撐架上設有探針卡承載面板，所述探針卡承載面板中心設有探針卡夾持機構，所述探針卡夾持機構上夾持有探針卡；

所述探針卡影像裝置包括固定連接板，所述固定連接板上設有實現探針卡特征點尋找的探針卡低倍CCD及實現探針卡特征點精準定位的高倍CCD；

所述晶圓影像裝置包括縱向支撐件及設于所述縱向支撐件上的橫梁，所述橫梁內設有實現晶圓特征點尋找的晶圓低倍CCD及實現晶圓特征點精準定位的晶圓高倍CCD，并且所述橫梁靠近所述探針卡承載臺一側設有實現晶圓厚度測量的高精度位移傳感器。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓探針臺，其特征在于：所述檢測臺與所述測試箱底部固定連接，并且所述檢測臺為矩形結構的大理石檢測臺。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓探針臺，其特征在于：所述Y軸軸向滑軌上設有與之驅動連接的Y軸軸向直線驅動電機，所述X軸軸向滑軌上設有與之驅動連接的X軸軸向直線驅動電機。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓探針臺，其特征在于：所述探針卡承載臺支撐架包括四組支撐腿及兩組傾斜設置的升降桿，且四組所述支撐腿上設有實現所述探針卡水平度調節的升降調節機構。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓探針臺，其特征在于：所述探針卡承載面板中心設有環形結構的探針卡固定盤，所述探針卡固定盤中心設有矩形槽，所述探針卡夾持機構位于所述矩形槽兩側實現所述探針卡的固定夾持。

6.根據權利要求1所述的一種晶圓探針臺，其特征在于：所述固定連接板上設有與之第一高精度絲桿，所述第一高精度絲桿底端設有與之驅動連接的第一閉環進步電機，并且所述固定連接板垂直設置于所述晶圓承載臺一側并通過螺絲與所述晶圓承載移動臺固定連接。

7.根據權利要求1所述的一種晶圓探針臺，其特征在于：所述縱向支撐件包括兩組，其中一組所述縱向支撐件上設有與之垂直固定連接的鎖緊件。

8.根據權利要求1所述的一種晶圓探針臺，其特征在于：所述橫梁內設有矩形安裝腔，所述晶圓低倍CCD與所述晶圓高倍CCD位于所述矩形安裝腔，并且所述矩形安裝腔內設有多組實現所述晶圓低倍CCD與所述晶圓高倍CCD固定安裝的限位組件。

9.根據權利要求1所述的一種晶圓探針臺，其特征在于：所述縱向支撐件與所述探針卡承載臺支撐架分別通過螺絲與所述檢測臺實現固定連接。

10.根據權利要求1所述的一種晶圓探針臺，其特征在于：所述測試箱前板上設有電控箱及控制按鈕，所述測試箱頂部設有三色燈，所述測試箱底部設有腳輪，所述腳輪由四組地腳杯與四組滑輪組成。