[發(fā)明專利]一種芯片晶圓生產(chǎn)用清洗裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011005279.4
• 申請日: 2020-09-23
• 公開（公告）號: CN112207085A
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發(fā)明（設計）人: 任曉偉
• 申請（專利權）人: 復漢海志（江蘇）科技有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67;H05F3/04
• 代理公司: 鹽城平易安通知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 32448
• 代理人: 陳彩芳

1.一種芯片晶圓生產(chǎn)用清洗裝置，包括裝置主體（1），其特征在于：所述裝置主體（1）的側端外表面設置有空氣泵（2），所述空氣泵（2）的側端設置有水泵（3），所述水泵（3）的側端外表面設置有清洗液箱（4），所述裝置主體（1）的上端外表面設置有蓋板（9），所述裝置主體（1）與蓋板（9）的連接處設置有合頁（5），所述蓋板（9）的前端外表面設置有手柄（8），所述蓋板（9）的上端外表面嵌有控制面板（10），所述控制面板（10）的側端設置有一號凹槽（6），所述一號凹槽（6）的上端設置有限位架（7）。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片晶圓生產(chǎn)用清洗裝置，其特征在于：所述空氣泵（2）的下端固定安裝有固定板，所述固定板的側端固定嵌于裝置主體（1）的內側，所述裝置主體（1）與空氣泵（2）之間設置有通氣管，所述通氣管的右側端固定嵌于空氣泵（2）的內側，所述裝置主體（1）的內側固定安裝有隔板（14），所述隔板（14）的內側固定安裝有進氣板（11），所述通氣管的左側端貫穿于裝置主體（1）與隔板（14），且固定嵌于進氣板（11）的內側。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片晶圓生產(chǎn)用清洗裝置，其特征在于：所述進氣板（11）的下端對應裝置主體（1）的內側固定安裝有超聲波發(fā)生器（12），所述水泵（3）與裝置主體（1）的連接處設置有水管，所述水管的右側端固定嵌于水泵（3）的內側，所述連接水管的右側端貫穿于裝置主體（1）與隔板（14），所述水泵（3）與清洗液箱（4）之間固定安裝有水管，所述控制面板（10）固定嵌于蓋板（9）的內側，所述裝置主體（1）的內側對應隔板（14）的外表面設置有電機（13）。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片晶圓生產(chǎn)用清洗裝置，其特征在于：所述電機（13）的數(shù)量為兩組，且呈對稱排布，所述電機（13）的下端固定安裝有固定板，所述固定板嵌于隔板（14）與裝置主體（1）的內側，所述金屬網(wǎng)板（15）的內側固定安裝有連接軸，所述連接軸的左右側端均貫穿于隔板（14），且固定嵌于電機（13）的內側，所述進氣板（11）的上端設置有若干個氣孔，且呈矩形陣列排布。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片晶圓生產(chǎn)用清洗裝置，其特征在于：所述金屬網(wǎng)板（15）的上端設置有固定桿（16），所述固定桿（16）的左右側端均嵌于伸縮桿（17），所述伸縮桿（17）的下端固定安裝有夾具（18），所述金屬網(wǎng)板（15）的上端外表面設置有若干網(wǎng)孔，且矩形陣列排布，所述夾具（18）與網(wǎng)孔相互嵌合，所述限位架（7）的下端對應一號凹槽（6）的內側固定安裝有支撐桿（20），所述支撐桿（20）的下端固定設置有密封板（21）。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片晶圓生產(chǎn)用清洗裝置，其特征在于：所述蓋板（9）的內側設置有凹槽，所述凹槽內固定設置有離子風棒（19），所述凹槽的下端設置有二號凹槽（22），所述二號凹槽（22）與密封板（21）相互嵌合，所述支撐桿（20）與一號凹槽（6）的數(shù)量均為兩組，且呈對稱關系排布，所述支撐桿（20）與一號凹槽（6）相互嵌合。