[發明專利]晶圓清洗設備

有效

• 申請號: 202011005053.4
• 申請日: 2020-09-22
• 公開（公告）號: CN112222078B
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發明（設計）人: 徐瑤
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 姚琳潔;朱文杰

1.一種晶圓清洗設備，包括工藝槽組件，其特征在于，所述工藝槽組件包括槽體組件、安全控制電路；

所述槽體組件包括槽體、加熱器，所述槽體用于承載清洗液，所述加熱器用于加熱所述槽體內的清洗液；

所述安全控制電路包括第一控制回路和第二控制回路，所述第一控制回路用于控制所述第二控制回路導通或斷開，所述第二控制回路用于控制所述加熱器開啟或關閉；

其中，所述第一控制回路包括串聯的第一控制器件、漏液檢測組件；所述第一控制器件包括控制部和開關部，所述控制部通電時所述開關部閉合，所述控制部斷電時所述開關部斷開，所述第一控制器件的控制部串聯在所述第一控制回路中；所述漏液檢測組件用于檢測所述槽體是否漏液，所述漏液檢測組件在未檢測到所述槽體漏液時導通，所述漏液檢測組件在檢測到所述槽體漏液時斷開；

所述第二控制回路包括第二控制器件；所述第二控制器件包括所述控制部和所述開關部，所述第二控制器件的開關部串聯在所述第二控制回路中，所述第二控制器件的控制部與所述第一控制器件的開關部串聯。

2.根據權利要求1所述的晶圓清洗設備，其特征在于，所述第一控制回路還包括：串聯在所述第一控制回路中的液位檢測組件，所述液位檢測組件用于檢測所述槽體內清洗液的液位是否達到預設的液位閾值，所述液位檢測組件在檢測到所述槽體內清洗液的液位達到所述液位閾值時導通，所述液位檢測組件在未檢測到所述槽體內清洗液的液位達到所述液位閾值時斷開。

3.根據權利要求1所述的晶圓清洗設備，其特征在于，所述第一控制回路還包括：串聯在所述第一控制回路中的溫控器件，所述溫控器件用于檢測所述槽體內的溫度，在所述槽體內的溫度低于預設的溫度閾值時，所述溫控器件導通，在所述槽體內的溫度不低于所述溫度閾值時，所述溫控器件斷開。

4.根據權利要求1所述的晶圓清洗設備，其特征在于，還包括控制裝置；

所述第一控制回路還包括：串聯在所述第一控制回路中的安全控制器件，所述安全控制器件在接收到所述控制裝置發送的第一控制信號時導通，在未接收到所述第一控制信號時斷開。

5.根據權利要求1-4任一項所述的晶圓清洗設備，其特征在于，

所述漏液檢測組件包括外部漏液傳感器、內部漏液傳感器，所述外部漏液傳感器用于檢測所述槽體的底部和/或側壁是否有漏液，所述內部漏液傳感器用于檢測所述槽體的內部是否漏液；

所述外部漏液傳感器在未檢測到所述槽體的底部和/或側壁漏液時導通，所述外部漏液傳感器在檢測到所述槽體的底部和/或側壁漏液時斷開；所述內部漏液傳感器在未檢測到所述槽體的內部漏液時導通，所述內部漏液傳感器在檢測到所述槽體的內部漏液時斷開。

6.根據權利要求1-4任一項所述的晶圓清洗設備，其特征在于，所述第一控制回路還包括：串聯在所述第一控制回路中的加溫傳感器，所述加溫傳感器用于檢測所述加熱器的溫度，所述加溫傳感器在檢測到所述加熱器的溫度超過預設的加溫閾值時斷開，所述加溫傳感器在未檢測到所述加熱器的溫度超過所述加溫閾值時導通。

7.根據權利要求1-4任一項所述的晶圓清洗設備，其特征在于，所述第一控制回路還包括：串聯在所述第一控制回路中的液溫傳感器，所述液溫傳感器用于檢測所述槽體內清洗液的溫度，所述液溫傳感器在檢測到所述清洗液的溫度超過預設的液溫閾值時斷開，所述液溫傳感器在未檢測到所述清洗液的溫度超所述液溫閾值時導通。

8.根據權利要求1-4任一項所述的晶圓清洗設備，其特征在于，

所述第二控制回路還包括：串聯在所述第二控制回路中的保護器件，所述保護器件在所述第二控制回路正常工作時導通，在所述第二控制回路出現電路異常時斷開。

9.根據權利要求4所述的晶圓清洗設備，其特征在于，所述第二控制回路還包括：串聯在所述第二控制回路中的第三控制器件，所述第三控制器件在接收到所述控制裝置發送的第二控制信號時導通，在未接收到所述第二控制信號時斷開。

10.根據權利要求4所述的工晶圓清洗設備，其特征在于，所述第二控制回路還包括：串聯在所述第二控制回路中的電流傳感器，所述電流傳感器與所述控制裝置連接，所述控制裝置在加熱功能開啟但所述電流傳感器未檢測到電流時或者所述加熱功能未開啟但所述電流傳感器檢測到電流時，進行報警。