[發明專利]一種長晶爐工藝氣混氣氣道

有效

• 申請號: 202010998980.4
• 申請日: 2020-09-22
• 公開（公告）號: CN112191121B
• 公開（公告）日: 2022-09-30
• 發明（設計）人: 李輝;葉迎海;毛瑞川
• 申請（專利權）人: 南京晶升裝備股份有限公司
• 主分類號: B01F25/30
• 分類號: B01F25/30;B01F25/31
• 代理公司: 北京惠科金知識產權代理有限公司 11981
• 代理人: 任立晨

1.一種長晶爐工藝氣混氣氣道，其特征在于，包括座體、位于座體內部的氣環、至少兩個進氣道、覆蓋在氣環上的封板；所述氣環包括圓柱形的側壁，位于側壁上端的一圈上圓環、位于側壁下端的一圈下圓環；上圓環的外徑及下圓環的外徑均大于側壁的外徑，所述座體包括收容氣環的內壁，且所述側壁、上圓環下表面、下圓環上表面與內壁之間圍成環向氣道；

所述上圓環設有與環向氣道貫通的若干上氣道，下圓環設有與環向氣道貫通的若干下氣道；每個上氣道的中軸線是不指向上圓環圓心而傾斜的，且該中軸線到上圓環圓心的連線與該中軸線之間形成銳角的夾角，且每個上氣道的傾斜的角度與方向均相同，所述上氣道的出口吹氣方向為沿著上圓環圓心順時針方向；下氣道的出口吹氣方向為沿著下圓環圓心逆時針方向；或者，上氣道的出口吹氣方向為沿著上圓環圓心逆時針方向；下氣道的出口吹氣方向為沿著下圓環圓心順時針方向，所述上氣道相對于所述下氣道錯位設置；每個下氣道的中軸線是不指向下圓環圓心而傾斜的，且該中軸線到下圓環圓心的連線與該中軸線之間形成銳角的夾角，且每個下氣道的傾斜的角度與方向均相同；每個上氣道與每個下氣道均與氣環內部連通，氣環的底部為出口；由于真空的原因，上部旋流會自上而下流動，當碰到下部旋流時，形成氣流撞擊，實現三次混合；三次混合后的工藝氣經出口進入真空腔室；

所述進氣道橫向穿過座體并與環向氣道連通，且進氣道自座體的外側向內延伸。

2.根據權利要求1所述的長晶爐工藝氣混氣氣道，其特征在于，還包括覆蓋在封板上方的壓蓋，所述封板收容于壓蓋與座體之間。

3.根據權利要求2所述的長晶爐工藝氣混氣氣道，其特征在于，所述封板下方與座體之間設有密封件。

4.根據權利要求1所述的長晶爐工藝氣混氣氣道，其特征在于，所述上圓環的外壁面設有若干向內凹的上過渡通道，該上過渡通道與上氣道一一對應且將上氣道與環向氣道連通，所述下圓環的外壁面設有若干向內凹的下過渡通道，該下過渡通道與下氣道一一對應且將下氣道與環向氣道連通。