[發(fā)明專利]基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測(cè)系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010992945.1
• 申請(qǐng)日: 2020-09-21
• 公開（公告）號(hào): CN111999223A
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 金華伏安光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N15/02
• 分類號(hào): G01N15/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明涉及塵埃粒子探測(cè)領(lǐng)域，具體涉及基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測(cè)系統(tǒng)。通過將透明管道的兩端分別與進(jìn)氣管和出氣管連接，其中，透明管道為透明材料，傳感部?jī)A斜設(shè)置在透明管道內(nèi)部，光源和探測(cè)器分別垂直設(shè)置于透明管道位置的兩側(cè)；當(dāng)需要探測(cè)氣體中的塵埃粒子時(shí)，將待檢測(cè)氣體從進(jìn)氣管輸送進(jìn)探測(cè)系統(tǒng)，經(jīng)過傳感部時(shí)，氣體中的塵埃粒子會(huì)粘附在傳感部上，光源發(fā)射的連續(xù)光譜激光通過透明管道后，照射到傳感部，粘附在傳感部的塵埃粒子在光的照射下會(huì)發(fā)生散射，并且產(chǎn)生沿著金屬薄膜的表面等離激元共振，透射光最終被探測(cè)器接收，通過透射光的變化與塵埃粒子的大小與數(shù)量的對(duì)應(yīng)關(guān)系，準(zhǔn)確的得到塵埃粒子的大小和數(shù)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及塵埃粒子探測(cè)領(lǐng)域，具體涉及一種基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測(cè)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

生產(chǎn)環(huán)境中的塵埃粒子對(duì)電子行業(yè)、精密器械、制藥車間、半導(dǎo)體、檢驗(yàn)等方面有重大影響，精確而又方便地探測(cè)環(huán)境中的塵埃粒子尤為重要。

目前，常見的塵埃粒子的探測(cè)方法有很多，例如：顯微鏡法、庫爾特法、光沉降法、全息攝像法、光衍射法、光散射法。

然而，對(duì)于現(xiàn)有的塵埃粒子探測(cè)系統(tǒng)來說，一方面，空氣流經(jīng)傳感部，塵埃不容易粘附在傳感部，不利于探測(cè)，無法保證探測(cè)精度；另一方面，塵埃一旦粘附在傳感部，會(huì)造成傳感部的污染，會(huì)影響下次探測(cè)精度。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測(cè)系統(tǒng)，以解決上述現(xiàn)有技術(shù)中的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施例采用的技術(shù)方案如下：

第一方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測(cè)系統(tǒng)，包括：光源、探測(cè)器、進(jìn)氣管、出氣管、透明管道和傳感部，透明管道的兩端分別與進(jìn)氣管和出氣管連接，其中，透明管道為透明材料，傳感部?jī)A斜設(shè)置在透明管道內(nèi)部，用于粘附塵埃粒子，并將照射在傳感部上的光進(jìn)行透射，光源和探測(cè)器分別垂直設(shè)置于透明管道位置的兩側(cè)，其中，光源用以發(fā)射連續(xù)光譜激光，探測(cè)器用于接收連續(xù)光譜激光。

可選地，該進(jìn)氣管、出氣管、透明管道為圓柱形，透明管道的直徑大于進(jìn)氣管的直徑。

可選地，該傳感部為具有孔洞的金屬薄膜。

可選地，該具有孔洞的金屬薄膜的數(shù)量為兩個(gè)，兩具有孔洞的金屬薄膜平行。

可選地，該孔洞為矩形陣列，陣列的周期為方形，矩形的長邊垂直于進(jìn)氣管。

可選地，該靠近進(jìn)氣管的具有孔洞的金屬薄膜中孔洞的尺寸大于遠(yuǎn)離進(jìn)氣管的具有孔洞的金屬薄膜中孔洞的尺寸。

可選地，該透明管道為絕緣材料。

可選地，該塵埃粒子探測(cè)系統(tǒng)還包括電荷產(chǎn)生器，電荷產(chǎn)生器與傳感部電連接，用于產(chǎn)生電荷。

可選地，該在相鄰孔洞間設(shè)有凸起。

可選地，該凸起的材料為二氧化硅。

本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明提供了一種基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測(cè)系統(tǒng)，通過將透明管道的兩端分別與進(jìn)氣管和出氣管連接，其中，透明管道為透明材料，傳感部?jī)A斜設(shè)置在透明管道內(nèi)部，用于粘附塵埃粒子，并將照射在傳感部上的光進(jìn)行透射，光源和探測(cè)器分別垂直設(shè)置于透明管道位置的兩側(cè)，其中，光源用以發(fā)射連續(xù)光譜激光，探測(cè)器用于接收連續(xù)光譜激光；當(dāng)需要探測(cè)氣體中的塵埃粒子時(shí)，將待檢測(cè)氣體從進(jìn)氣管輸送進(jìn)探測(cè)系統(tǒng)，經(jīng)過傳感部時(shí)，氣體中的塵埃粒子會(huì)粘附在傳感部上，光源發(fā)射的連續(xù)光譜激光通過透明管道后，照射到傳感部，粘附在傳感部的塵埃粒子在光的照射下會(huì)發(fā)生散射，并且產(chǎn)生沿著金屬薄膜的表面等離激元共振，透射光最終被探測(cè)器接收，通過透射光的變化與塵埃粒子的大小與數(shù)量的對(duì)應(yīng)關(guān)系，準(zhǔn)確的得到塵埃粒子的大小和數(shù)量。