[發明專利]基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測系統

在審

• 申請號: 202010992945.1
• 申請日: 2020-09-21
• 公開（公告）號: CN111999223A
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 金華伏安光電科技有限公司
• 主分類號: G01N15/02
• 分類號: G01N15/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測系統，其特征在于，包括：光源、探測器、進氣管、出氣管、透明管道和傳感部，所述透明管道的兩端分別與所述進氣管和所述出氣管連接，其中，所述透明管道為透明材料，所述傳感部傾斜設置在所述透明管道內部，用于粘附塵埃粒子，并將照射在所述傳感部上的光進行透射，所述光源和所述探測器分別垂直設置于所述透明管道位置的兩側，其中，所述光源用以發射連續光譜激光，所述探測器用于接收連續光譜激光。

2.如權利要求1所述的基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測系統，其特征在于，所述進氣管、所述出氣管、所述透明管道為圓柱形，所述透明管道的直徑大于所述進氣管的直徑。

3.如權利要求2所述的基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測系統，其特征在于，所述傳感部為具有孔洞的金屬薄膜。

4.如權利要求3所述的基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測系統，其特征在于，所述具有孔洞的金屬薄膜的數量為兩個，兩具有孔洞的金屬薄膜平行。

5.如權利要求4所述的基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測系統，其特征在于，所述孔洞為矩形陣列，所述陣列的周期為方形，所述矩形的長邊垂直于所述進氣管。

6.如權利要求5所述的基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測系統，其特征在于，靠近所述進氣管的具有孔洞的金屬薄膜中孔洞的尺寸大于遠離所述進氣管的具有孔洞的金屬薄膜中孔洞的尺寸。

7.如權利要求6所述的基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測系統，其特征在于，所述透明管道為絕緣材料。

8.如權利要求1所述的基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測系統，其特征在于，塵埃粒子探測系統還包括電荷產生器，所述電荷產生器與所述傳感部電連接，用于產生電荷。

9.如權利要求1所述的基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測系統，其特征在于，在所述相鄰孔洞間設有凸起。

10.如權利要求9所述的基于表面等離激元共振的塵埃粒子探測系統，其特征在于，所述凸起的材料為二氧化硅。