[發明專利]一種高精度晶圓分切機

有效

• 申請號: 202010986210.8
• 申請日: 2020-09-18
• 公開（公告）號: CN112140373B
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發明（設計）人: 虞文武;張波;朱理瀚
• 申請（專利權）人: 常州機電職業技術學院;常州市捷甲非開挖管道技術有限公司
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D5/00;B28D7/02;B28D7/04
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務所 32225
• 代理人: 孫彬;芮雪萍

1.一種高精度晶圓分切機，包括整體固定架(1)、整體固定架(1)左端所設的裝夾固定機構與整體固定架(1)上端所設的移動切割機構，其特征在于：所述整體固定架(1)由頂板(101)與頂板(101)下端四角位置處固定連接的支撐腿(102)構成，所述整體固定架(1)下端的前后兩側對稱設有兩條滑槽I(103)，所述裝夾固定機構由整體固定架(1)左側所設的側固定架組件(2)、側固定架組件(2)內側上端固定所設的固定夾板(3)與側固定架組件(2)內側下端滑配的滑動夾板(4)構成，所述移動切割機構由頂板(101)上端左右兩側所設的切割架驅動組件(7)、切割架驅動組件(7)中間并且在頂板(101)下端面上所滑配的切割架(8)與切割架(8)中間所設的切割組件(9)構成；

所述側固定架組件(2)的上端設有頂部固定支撐板(201)，所述頂部固定支撐板(201)的上端面與頂板(101)的下端面通過螺栓固定連接，所述頂部固定支撐板(201)的下端通過螺栓固定連接有中間固定支撐板(202)，所述中間固定支撐板(202)的內側面上左右對稱開設有兩條滑槽II(204)；

所述中間固定支撐板(202)的下端通過螺栓固定連接有底部固定支撐板(203)，所述底部固定支撐板(203)的底部固定安裝有伸縮電缸(5)，所述伸縮電缸(5)的活塞桿的頂部固定安裝有推拉板(6)，所述推拉板(6)與滑動夾板(4)的下端面通過螺栓相固定連接；

所述固定夾板(3)由與中間固定支撐板(202)的內側面通過螺栓固定相連的固定夾板座(301)與固定夾板座(301)端部固定連接的半圓拱形結構的固定夾板槽(302)構成，所述滑動夾板(4)由滑動夾板座(401)與滑動夾板座(401)端部固定連接的半圓拱形結構的滑動夾板槽(402)構成，所述滑動夾板座(401)的外側面上左右對稱設有兩條與滑槽II(204)相滑配的滑塊II；

所述切割架驅動組件(7)的左右兩端設有與頂板(101)的外側面固定相連的端板(701)，且在兩端板(701)的中間通過軸承套接有螺桿(704)，所述端板(701)的端部并且在螺桿(704)的外側固定安裝有電機安裝座I(702)，所述電機安裝座I(702)的端部固定安裝有驅動電機I(703)，且驅動電機I(703)的主軸與螺桿(704)通過聯軸器相固定連接；

所述切割架(8)的頂部設有板狀結構的切割架頂板(801)，且在切割架頂板(801)下端面的左右兩側對稱設有切割架側板(803)，所述切割架頂板(801)上端面的左右兩側對稱設有兩條與滑槽I(103)相滑配的滑塊I(802)，所述切割架頂板(801)的中間與螺桿(704)相螺接；

所述切割組件(9)的中間設有切割軸(901)，且切割軸(901)的兩端分別與切割架側板(803)通過軸承相套接，所述切割軸(901)的外圓上并且在兩切割架側板(803)中間固定套接有多個切割片(902)，所述切割架側板(803)的外側面上固定安裝有電機安裝座II(905)，且在電機安裝座II(905)的外側面上固定安裝有切割電機(906)，所述切割電機(906)的主軸與切割軸(901)的軸端通過聯軸器相固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種高精度晶圓分切機，其特征在于：所述切割片(902)的外側并且在切割架側板(803)的中間固定設有防護罩(904)，所述防護罩(904)的前后兩端開設有切削口(909)，所述切割軸(901)的上下兩端對稱設有與防護罩(904)內壁相連通的吸塵箱(907)，且在吸塵箱(907)的外側固定連通有吸塵管(908)。

3.根據權利要求2所述的一種高精度晶圓分切機，其特征在于：所述固定夾板槽(302)與滑動夾板槽(402)的中間均布開設有與切割片(902)位置相對應的切割槽，且在切割槽的正下方設有槽體結構的落料槽(10)。

4.根據權利要求3所述的一種高精度晶圓分切機，其特征在于：兩相鄰切割片(902)之間設有與切割軸(901)相固定套配的固定限位套(903)，且固定限位套(903)的兩側面分別與切割片(902)的兩側面相貼合。