[發(fā)明專利]平面度檢測設(shè)備、方法和電子設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010982841.2
• 申請日: 2020-09-17
• 公開（公告）號: CN112066917B
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王河;許向陽;艾博;陳威
• 申請（專利權(quán)）人: 北京半導體專用設(shè)備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30;G06T7/00;G06T7/90;G06T7/55
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 鐘揚飛

本申請?zhí)峁┮环N平面度檢測設(shè)備、方法和電子設(shè)備，平面度檢測設(shè)備包括：攝取組件，用于根據(jù)原始光路攝取目標圖像；分光組件，用于將原始光路分成第一光路和第二光路；第一獲取組件，用于獲取第一光路處的第一檢測圖像；第二獲取組件，用于獲取第二光路處的第二檢測圖像；處理組件，電性連接于第一獲取組件和第二獲取組件，用于根據(jù)第一圖像和第二圖像的對比度數(shù)據(jù)，計算目標圖像的平面度數(shù)據(jù)。本申請?zhí)峁┑钠矫娑葯z測設(shè)備、方法和電子設(shè)備，使用圖像處理方法將景深范圍和焦內(nèi)平面高度相關(guān)聯(lián)，克服現(xiàn)有平面度檢測裝置不易安裝等缺陷，具有準確率高，易檢測等優(yōu)點。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及芯片檢測領(lǐng)域，具體而言，涉及一種平面度檢測設(shè)備、方法和電子設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著紅外成像技術(shù)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對于紅外探測器組件的平面度有了更高的要求，目前對于平面度的測量一般通過專業(yè)的測量工具進行測量，受到圖像景深、量產(chǎn)、特殊工作臺等環(huán)境因素影響，景深通常是指攝像鏡頭對待攝場景能夠清晰成像的物距范圍，現(xiàn)如今，對于景深范圍只有概念性的解答，但是對于焦內(nèi)沒有明確的定量關(guān)系。現(xiàn)需要一種簡易的平面度檢測裝置，對探測器組件進行觀察、檢測。

發(fā)明內(nèi)容

本申請實施例的目的在于提供一種平面度檢測設(shè)備、方法和電子設(shè)備，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題。

第一方面，本發(fā)明實施例提供一種平面度檢測設(shè)備，包括：攝取組件，用于根據(jù)原始光路攝取目標圖像；分光組件，用于將原始光路分成第一光路和第二光路；第一獲取組件，用于獲取第一光路處的第一檢測圖像；第二獲取組件，用于獲取第二光路處的第二檢測圖像；處理組件，電性連接于第一獲取組件和第二獲取組件，用于根據(jù)第一圖像和第二圖像的對比度數(shù)據(jù)，計算目標圖像的平面度數(shù)據(jù)。

在可選的實施方式中，分光組件包括：透光介質(zhì)；入射面，設(shè)置在透光介質(zhì)靠近攝取組件的一端，入射面垂直于原始光路；第一折射面，設(shè)置在透光介質(zhì)內(nèi)，第一折射面用于將原始光路向第一方向折射，形成第一光路；第二折射面，設(shè)置在透光介質(zhì)遠離攝取組件的另一端，第二折射面用于將原始光路向第二方向折射，形成第二光路。

在可選的實施方式中，第一光路與第二光路之間具有高度差。

在可選的實施方式中，第一光路垂直于原始光路。

在可選的實施方式中，第一獲取組件包括：第一折射部，設(shè)置在第一光路的傳播路徑上，用于將第一光路折射，形成第三光路；第一檢測器，用于接收第三光路的入射光，生成第一檢測圖像。

在可選的實施方式中，第二光路垂直于原始光路。

在可選的實施方式中，第二獲取組件包括：第二折射部，設(shè)置在第二光路的傳播路徑上，用于將第二光路折射，形成第四光路；第二檢測器，用于接收第四光路的入射光，生成第二檢測圖像。

在可選的實施方式中，透光介質(zhì)包括：棱鏡。

第二方面，本發(fā)明實施例提供一種平面度檢測方法，應(yīng)用于上述前述實施方式任一項的設(shè)備，包括：獲取第一檢測圖像和第二檢測圖像；比較第一檢測圖像的對比度和第二檢測圖像的對比度的大小，生成對比度比較結(jié)果；判斷第一檢測圖像和第二檢測圖像是否在預設(shè)景深范圍內(nèi)，生成范圍檢測結(jié)果；根據(jù)對比度比較結(jié)果、范圍檢測結(jié)果和預設(shè)探測高度對照表，生成探測高度數(shù)據(jù)。

第三方面，本發(fā)明實施例提供一種電子設(shè)備，包括：存儲器，用以存儲計算機程序；處理器，用以執(zhí)行如前述實施方式中任一項的方法。

本申請?zhí)峁┑钠矫娑葯z測方法，使用圖像處理方法將景深范圍和焦內(nèi)平面高度相關(guān)聯(lián)，克服現(xiàn)有平面度檢測裝置不易安裝等缺陷，具有準確率高，易檢測等優(yōu)點。

附圖說明