[發(fā)明專利]定位方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010977947.3
• 申請(qǐng)日: 2020-09-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112530849A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳彥翰;胡政綱;吳仁豪;陳正宏;吳豐光;劉旭水;白峻榮;郭守文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 黃艷;鄭特強(qiáng)

1.一種定位方法，用于在一半導(dǎo)體制造環(huán)境中相對(duì)于一固定裝置來(lái)定位一活動(dòng)裝置，包括：

從一第一活動(dòng)裝置位置相對(duì)于該固定裝置來(lái)移動(dòng)該活動(dòng)裝置，直到固定至該活動(dòng)裝置的一感測(cè)器的一感測(cè)器數(shù)據(jù)指出固定至該固定裝置的一目標(biāo)落在該感測(cè)器的一視域；

決定該目標(biāo)相對(duì)于一中心位置的一第一位置坐標(biāo)偏移值以及一第二位置坐標(biāo)偏移值，其中該中心位置與該感測(cè)器數(shù)據(jù)有關(guān)；

基于該第一位置坐標(biāo)偏移值以及該第二位置坐標(biāo)偏移值，相對(duì)于該固定裝置將該活動(dòng)裝置移動(dòng)至一第二活動(dòng)裝置位置，直到該目標(biāo)相對(duì)于該中心位置被安置；以及

存儲(chǔ)該第二活動(dòng)裝置位置，以便于在之后相對(duì)于該固定裝置來(lái)移動(dòng)該活動(dòng)裝置。