[發明專利]一種單晶金剛石生長過程中的監測裝置

在審

• 申請號: 202010976204.4
• 申請日: 2020-09-16
• 公開（公告）號: CN112197728A
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發明（設計）人: 侯榮華;彭俊杰;王紅雪;劉敏強;寧樹興;柴喜紅;文首名
• 申請（專利權）人: 北京清碳科技有限公司
• 主分類號: G01B21/08
• 分類號: G01B21/08;G01D21/00
• 代理公司: 北京艾皮專利代理有限公司 11777
• 代理人: 李德勝

1.一種單晶金剛石生長過程中的監測裝置，其特征在于，包括：底座（1）；固定安裝在底座（1）上的文丘里管（2）、第一混合腔（4）、第二混合腔（6）、電離室（8）和沉積室（26）；

所述沉積室（26）上設置有觀察窗（17），所述底座（1）上固定安裝有支架（10），所述支架（10）上設置有位置可調的監測設備（11），所述監測設備（11）設置在觀察窗（17）的上方；

所述文丘里管（2）、第一混合腔（4） 、第二混合腔（6）、電離室（8）和沉積室（26）依次連通；

所述文丘里管（2）的頸部設置有與其內部連通的第一輸入端（3）。

2.根據權利要求1所述的單晶金剛石生長過程中的監測裝置，其特征在于，所述第一混合腔（4）與文丘里管（2）連通處設置有分散件（5）。

3.根據權利要求2所述的單晶金剛石生長過程中的監測裝置，其特征在于，所述分散件（5）包括設置在底部的圓錐件（25）和安裝在圓錐件（25）上的圓柱件（27），所述圓柱件（27）外側陣列設置有多個螺旋葉片（24）。

4.根據權利要求1所述的單晶金剛石生長過程中的監測裝置，其特征在于，所述第二混合腔（6）內部三個角上均設置有傾斜設置的反射角（7），另一個角處設置有輸出端；其中一個反射角（7）與第二混合腔（6）的輸入端正對。

5.根據權利要求1所述的單晶金剛石生長過程中的監測裝置，其特征在于，所述電離室（8）內部設置有微波發生器（9）。

6.根據權利要求1所述的單晶金剛石生長過程中的監測裝置，其特征在于，所述沉積室（26）內部設置有高度可調的沉積平臺（18），所述沉積室（26）內部還是有用于調整沉積平臺（18）高度的調整組件。

7.根據權利要求6所述的單晶金剛石生長過程中的監測裝置，其特征在于，所述調整組件包括固定設置在沉積平臺（18）底部兩側的L型連接件（19），兩側所述L型連接件（19）上均設置有與其螺紋孔配合的螺桿（20），所述螺桿（20）轉動安裝在沉積室（26）內部支架上，所述螺桿（20）上還套置有第一齒輪（21），兩側所述第一齒輪（21）均與第二齒輪（22）嚙合，所述第二齒輪（22）設置在調整電機（23）的輸出端，所述調整電機（23）固定安裝在沉積室（26）內部。

8.根據權利要求1所述的單晶金剛石生長過程中的監測裝置，其特征在于，所述沉積室（26）四周陣列設置有多個進氣口（16），所述進氣口（16）均傾斜設置，該設置進而使得進入至沉積室（26）內部電離氣體旋轉設置，多個進氣口（16）通過管道與套置在沉積室（26）外側的供氣環（15）連通，所述供氣環（15）與電離室（8）的輸出端連通。

9.根據權利要求1-8任一所述的單晶金剛石生長過程中的監測裝置，其特征在于，所述支架（10）上設置有用于對監測設備（11）位置進行調整的移動組件。

10.根據權利要求9所述的單晶金剛石生長過程中的監測裝置，其特征在于，所述移動組件包括滑桿（12）和絲杠（13），所述滑桿（12）和絲杠（13）分別轉動安裝在支架（10）上，所述滑桿（12）和絲杠（13）均穿過監測設備（11）上部設置，且絲杠（13）與監測設備（11）上的螺紋口配合，所述支架（10）上還設置有與（13）傳動連接的轉動電機（14）。